半导体光电
半導體光電
반도체광전
SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS
2005年
3期
208-211
,共4页
赵禹%张大明%刘式墉%衣茂斌%卢东昕
趙禹%張大明%劉式墉%衣茂斌%盧東昕
조우%장대명%류식용%의무빈%로동흔
聚合物%光波导%刻蚀掩模%磁控溅射
聚閤物%光波導%刻蝕掩模%磁控濺射
취합물%광파도%각식엄모%자공천사
主要针对聚合物波导制备中的关键技术--刻蚀掩模,进行了系统的研究.以铝为例,利用原子力显微镜和光电子能谱,详细地分析并讨论了在聚合物表面溅射镀铝对芯层波导的影响.明确指出,溅射会在聚合物表面形成一层金属包层,从而在器件中引入额外的吸收损耗并对此进行了计算,同时给出解决的办法.最后,总结出最佳的工艺流程.
主要針對聚閤物波導製備中的關鍵技術--刻蝕掩模,進行瞭繫統的研究.以鋁為例,利用原子力顯微鏡和光電子能譜,詳細地分析併討論瞭在聚閤物錶麵濺射鍍鋁對芯層波導的影響.明確指齣,濺射會在聚閤物錶麵形成一層金屬包層,從而在器件中引入額外的吸收損耗併對此進行瞭計算,同時給齣解決的辦法.最後,總結齣最佳的工藝流程.
주요침대취합물파도제비중적관건기술--각식엄모,진행료계통적연구.이려위례,이용원자력현미경화광전자능보,상세지분석병토론료재취합물표면천사도려대심층파도적영향.명학지출,천사회재취합물표면형성일층금속포층,종이재기건중인입액외적흡수손모병대차진행료계산,동시급출해결적판법.최후,총결출최가적공예류정.
