机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2005年
8期
213-217
,共5页
聚偏氟乙烯%微音叉%扫描探针%测头%扫描探针显微镜
聚偏氟乙烯%微音扠%掃描探針%測頭%掃描探針顯微鏡
취편불을희%미음차%소묘탐침%측두%소묘탐침현미경
利用压电聚偏氟乙烯(PVDF,Polyvinilidene fluoride)薄膜和压电微音叉(Micro-fork),分别与钨探针结合,构成了三种新型的表面轮廓扫描测头.该新型测头与x-y压电工作台结合,采用与TM-AFM(Tapping mode atomicforce microscope)相同的工作原理,构成了扫描探针显微镜.分别介绍了这些测头的构成及特点,给出了所构成测量系统所获得的试验结果,证明了这几种新型扫描测头的有效性.
利用壓電聚偏氟乙烯(PVDF,Polyvinilidene fluoride)薄膜和壓電微音扠(Micro-fork),分彆與鎢探針結閤,構成瞭三種新型的錶麵輪廓掃描測頭.該新型測頭與x-y壓電工作檯結閤,採用與TM-AFM(Tapping mode atomicforce microscope)相同的工作原理,構成瞭掃描探針顯微鏡.分彆介紹瞭這些測頭的構成及特點,給齣瞭所構成測量繫統所穫得的試驗結果,證明瞭這幾種新型掃描測頭的有效性.
이용압전취편불을희(PVDF,Polyvinilidene fluoride)박막화압전미음차(Micro-fork),분별여오탐침결합,구성료삼충신형적표면륜곽소묘측두.해신형측두여x-y압전공작태결합,채용여TM-AFM(Tapping mode atomicforce microscope)상동적공작원리,구성료소묘탐침현미경.분별개소료저사측두적구성급특점,급출료소구성측량계통소획득적시험결과,증명료저궤충신형소묘측두적유효성.
