河北工业大学学报
河北工業大學學報
하북공업대학학보
JOURNAL OF HEBEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2006年
2期
40-43
,共4页
宋殿友%赵红东%胡和智%张凡
宋殿友%趙紅東%鬍和智%張凡
송전우%조홍동%호화지%장범
薄膜生长%Monte Carlo方法%Morse势%模拟%扩散
薄膜生長%Monte Carlo方法%Morse勢%模擬%擴散
박막생장%Monte Carlo방법%Morse세%모의%확산
用Monte Calro方法通过matlab对薄膜外延生长进行了计算机模拟.模型中引入Morse势描述粒子间的相互作用,考虑粒子的沉积、吸附粒子的扩散和蒸发3个过程.研究了粒子间相互作用范围α和允许粒子行走的最大步数对薄膜生长形貌的影响.结果表明:在不同的α值下,随粒子行走步教的增加,薄膜的生长都经历了从分散、分形、混合到团聚的过程;在同一最大步数下,α值越大,薄膜越易趋向于分散生长.
用Monte Calro方法通過matlab對薄膜外延生長進行瞭計算機模擬.模型中引入Morse勢描述粒子間的相互作用,攷慮粒子的沉積、吸附粒子的擴散和蒸髮3箇過程.研究瞭粒子間相互作用範圍α和允許粒子行走的最大步數對薄膜生長形貌的影響.結果錶明:在不同的α值下,隨粒子行走步教的增加,薄膜的生長都經歷瞭從分散、分形、混閤到糰聚的過程;在同一最大步數下,α值越大,薄膜越易趨嚮于分散生長.
용Monte Calro방법통과matlab대박막외연생장진행료계산궤모의.모형중인입Morse세묘술입자간적상호작용,고필입자적침적、흡부입자적확산화증발3개과정.연구료입자간상호작용범위α화윤허입자행주적최대보수대박막생장형모적영향.결과표명:재불동적α치하,수입자행주보교적증가,박막적생장도경력료종분산、분형、혼합도단취적과정;재동일최대보수하,α치월대,박막월역추향우분산생장.
