坩埚预处理技术在氮化铝晶体生长工艺中的应用
감과예처리기술재담화려정체생장공예중적응용
Application of Pretreated Crucible Technology to the Growth of AlN Crystals
  • 万方数据
    人工晶体学报 인공정체학보

    2006年 6期 1359-1362 ,共4页

    武红磊%郑瑞生%孙秀明%罗飞%杨帆%刘文%敬守勇

    무홍뢰%정서생%손수명%라비%양범%류문%경수용

    氮化铝晶体%物理气相传输%坩埚 氮化鋁晶體%物理氣相傳輸%坩堝
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    在氮化铝晶体生长工艺中,坩埚的使用寿命是主要技术难点之一.实验发现,在钨坩埚体和盖之间放置内径和外径与坩埚相同的石墨环,在氮气环境下进行一次高温处理,使钨坩埚体与盖接触的部位形成碳化钨保护层,可以有效地解决高温下钨坩埚体与盖相粘结的问题,大大提高了坩埚的使用寿命.使用经过预处理的钨坩埚,用物理气相法生长出φ0.8mm×1.5mm氮化铝单晶体和φ36mm×5mm氮化铝多晶片.
    재담화려정체생장공예중,감과적사용수명시주요기술난점지일.실험발현,재오감과체화개지간방치내경화외경여감과상동적석묵배,재담기배경하진행일차고온처리,사오감과체여개접촉적부위형성탄화오보호층,가이유효지해결고온하오감과체여개상점결적문제,대대제고료감과적사용수명.사용경과예처리적오감과,용물리기상법생장출φ0.8mm×1.5mm담화려단정체화φ36mm×5mm담화려다정편.
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