传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2006年
10期
60-63
,共4页
压阻式加速度计%高gn值%有限元分析
壓阻式加速度計%高gn值%有限元分析
압조식가속도계%고gn치%유한원분석
设计了一种新型四梁压阻式MEMS高gn(gn=9.8 m/s2)值加速度计,其量程为0～150000gn,抗冲击200000gn,横向灵敏度小于6%.根据设计指标及强度条件对结构参数进行了优化设计,并进行应力分析、抗冲击分析、横向效应分析以及灵敏度分析.同时,利用有限元分析软件,对模型进行了静态应力分析和模态分析,给出了具体的分析结果,并与理论值加以比较,从而使该高gn值加速度计的结构分析和设计更加合理.
設計瞭一種新型四樑壓阻式MEMS高gn(gn=9.8 m/s2)值加速度計,其量程為0～150000gn,抗遲擊200000gn,橫嚮靈敏度小于6%.根據設計指標及彊度條件對結構參數進行瞭優化設計,併進行應力分析、抗遲擊分析、橫嚮效應分析以及靈敏度分析.同時,利用有限元分析軟件,對模型進行瞭靜態應力分析和模態分析,給齣瞭具體的分析結果,併與理論值加以比較,從而使該高gn值加速度計的結構分析和設計更加閤理.
설계료일충신형사량압조식MEMS고gn(gn=9.8 m/s2)치가속도계,기량정위0～150000gn,항충격200000gn,횡향령민도소우6%.근거설계지표급강도조건대결구삼수진행료우화설계,병진행응력분석、항충격분석、횡향효응분석이급령민도분석.동시,이용유한원분석연건,대모형진행료정태응력분석화모태분석,급출료구체적분석결과,병여이론치가이비교,종이사해고gn치가속도계적결구분석화설계경가합리.
