平面型RTD及其MOBILE的设计与研制
평면형RTD급기MOBILE적설계여연제
Design and Fabrication of a Planar RTD and Its MOBILE
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2006年 12期 2167-2172 ,共6页

    郭维廉%梁惠来%张世林%胡留长%毛陆虹%宋瑞良%牛萍娟%王伟%商跃辉%王国全%冯震

    곽유렴%량혜래%장세림%호류장%모륙홍%송서량%우평연%왕위%상약휘%왕국전%풍진

    RTD%平面型RTD%离子注入%MOBILE RTD%平麵型RTD%離子註入%MOBILE
    RTD%평면형RTD%리자주입%MOBILE
    鉴于已报道的平面共振遂穿二极管(PRTD)存在的缺点,文中提出了一种新的平面RTD器件结构.以n+ GaAs代替半绝缘GaAs衬底,利用硼离子注入产生的非晶化作为RTD器件的电隔离,成功设计研制平面型RTD和由其构成的单-双稳转换逻辑单元,此种结构可适用于以输出端作为公用端的所有电路.
    감우이보도적평면공진수천이겁관(PRTD)존재적결점,문중제출료일충신적평면RTD기건결구.이n+ GaAs대체반절연GaAs츤저,이용붕리자주입산생적비정화작위RTD기건적전격리,성공설계연제평면형RTD화유기구성적단-쌍은전환라집단원,차충결구가괄용우이수출단작위공용단적소유전로.
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