电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2006年
10期
73-77
,共5页
旋转精度%刚度%轴向跳动%径向跳动
鏇轉精度%剛度%軸嚮跳動%徑嚮跳動
선전정도%강도%축향도동%경향도동
通过对半导体材料内圆切割机主轴旋转精度和刚度的分析,提出了提高主轴旋转精度的措施,使主轴具有极高的动静态刚性和优良的热平衡结构,减小主轴轴向跳动和径向跳动,减小刀片工作面与晶体加工面之间的相对振动,从而将切割材料表面的冲击力降到最小,避免晶体材料切割中的飞片、碎片和刀纹.
通過對半導體材料內圓切割機主軸鏇轉精度和剛度的分析,提齣瞭提高主軸鏇轉精度的措施,使主軸具有極高的動靜態剛性和優良的熱平衡結構,減小主軸軸嚮跳動和徑嚮跳動,減小刀片工作麵與晶體加工麵之間的相對振動,從而將切割材料錶麵的遲擊力降到最小,避免晶體材料切割中的飛片、碎片和刀紋.
통과대반도체재료내원절할궤주축선전정도화강도적분석,제출료제고주축선전정도적조시,사주축구유겁고적동정태강성화우량적열평형결구,감소주축축향도동화경향도동,감소도편공작면여정체가공면지간적상대진동,종이장절할재료표면적충격력강도최소,피면정체재료절할중적비편、쇄편화도문.
