福州大学学报（自然科学版）
福州大學學報（自然科學版）
복주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF FUZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2007年
z1期
15-18
,共4页
俞金玲%姜伟%李书平%刘达艺%康俊勇
俞金玲%薑偉%李書平%劉達藝%康俊勇
유금령%강위%리서평%류체예%강준용
椭圆偏振光谱%GaN%薄膜,光学常数%色散模型
橢圓偏振光譜%GaN%薄膜,光學常數%色散模型
타원편진광보%GaN%박막,광학상수%색산모형
采用椭圆偏振光谱法,在1.5～6.5 eV光谱范围研究了纤锌矿结构GaN外延薄膜.通过物理模型建立和光谱拟合得到了GaN外延薄膜的厚度和光学常数.所得厚度值与扫描电子显微镜测量的结果相差仅为0.4%.表明所采用的模型和Cauchy吸收色散表式适用于GaN薄膜.进一步采用四相逐点拟合算法得到更全面更准确的GaN薄膜光学常数.
採用橢圓偏振光譜法,在1.5～6.5 eV光譜範圍研究瞭纖鋅礦結構GaN外延薄膜.通過物理模型建立和光譜擬閤得到瞭GaN外延薄膜的厚度和光學常數.所得厚度值與掃描電子顯微鏡測量的結果相差僅為0.4%.錶明所採用的模型和Cauchy吸收色散錶式適用于GaN薄膜.進一步採用四相逐點擬閤算法得到更全麵更準確的GaN薄膜光學常數.
채용타원편진광보법,재1.5～6.5 eV광보범위연구료섬자광결구GaN외연박막.통과물리모형건립화광보의합득도료GaN외연박막적후도화광학상수.소득후도치여소묘전자현미경측량적결과상차부위0.4%.표명소채용적모형화Cauchy흡수색산표식괄용우GaN박막.진일보채용사상축점의합산법득도경전면경준학적GaN박막광학상수.
