激光干涉结晶法制备一维周期结构的纳米硅阵列
격광간섭결정법제비일유주기결구적납미규진렬
One-dimensional periodic nanocrystalline silicon arrays made by pulsed laser interference crystallization
  • 万方数据
    物理学报 물이학보

    2008年 8期 4960-4965 ,共6页

    姚尧%Fang Zhong-Hui%周江%Li Wei%马忠元%Xu Jun%黄信凡%Chen Kun-Ji%宫本恭幸%Shunri Oda

    요요%Fang Zhong-Hui%주강%Li Wei%마충원%Xu Jun%황신범%Chen Kun-Ji%궁본공행%Shunri Oda

    纳米硅%激光干涉结晶%移相光栅%定域晶化 納米硅%激光榦涉結晶%移相光柵%定域晶化
    납미규%격광간섭결정%이상광책%정역정화
    利用激光干涉结晶方法,采用周期为400 nm的一维(1D)移相光栅掩模调制KrF准分子激光器的脉冲激光束斑的能量分布,在不同厚度的超薄氢化非晶硅(a-Si:H)膜内直接制备1D有序纳米硅(nc-Si)阵列.拉曼散射谱表明,样品上呈条状分布的受辐照区域发生晶化.原子力显微镜和透射电子显微镜测试结果表明:1D的nc-Sj阵列的周期和移相光栅掩模一样.随着a-Si:H膜厚度从10 am降至4 nm,通过控制激光的能量密度,每个周期中nc-Si条状分布区宽度可达到30 nm.nc-Si条状分布区的高分辨电子显微镜照片显示出清晰的nc-Si晶格像.
    이용격광간섭결정방법,채용주기위400 nm적일유(1D)이상광책엄모조제KrF준분자격광기적맥충격광속반적능량분포,재불동후도적초박경화비정규(a-Si:H)막내직접제비1D유서납미규(nc-Si)진렬.랍만산사보표명,양품상정조상분포적수복조구역발생정화.원자력현미경화투사전자현미경측시결과표명:1D적nc-Sj진렬적주기화이상광책엄모일양.수착a-Si:H막후도종10 am강지4 nm,통과공제격광적능량밀도,매개주기중nc-Si조상분포구관도가체도30 nm.nc-Si조상분포구적고분변전자현미경조편현시출청석적nc-Si정격상.
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