纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2010年
6期
504-509
,共6页
李欣%邵金友%田洪淼%刘红忠%丁玉成
李訢%邵金友%田洪淼%劉紅忠%丁玉成
리흔%소금우%전홍묘%류홍충%정옥성
电场诱导图形化%常温%微结构%紫外光固化型聚合物
電場誘導圖形化%常溫%微結構%紫外光固化型聚閤物
전장유도도형화%상온%미결구%자외광고화형취합물
利用液体薄膜表面热扰动造成的表面张力失稳特性,提出一种常温条件下的非接触式电场诱导聚合物图形化技术.采用Navier-Stokes方程和线性稳定分析理论建立了薄膜流体的电场诱导力学模型,阐明了电场诱导过程中微结构的形成机理和周期特性,并详细分析了微结构的成长因数.采用低黏度紫外光固化型聚合物作为图形化材料,在常温条件进行了电场诱导成形实验研究,实验结果证明了电场诱导成形在常温条件下应用于紫外光固化型聚合物的可行性.在导电的掺杂硅片基底上以匀胶方式制备0.8 μm厚的紫外光固化型聚合物薄膜,使用平整的导电玻璃作为无图形模板.在基底和模板间施加25 V的直流电压进行电场诱导成形实验,获得了平均中心间距为37.6 μm,平均直径为24.8 μm的大面积周期性柱状结构.将基底和模板间的电压提高至30 V,周期性柱状结构的中心间距降低为30.8 μm,平均直径降低为18.5 μm.另外,采用理论模型对诱导成形过程中的诱导时间、成形特点和图型特征等要素进行了详细的分析,并提出了获得高精度、快速电场诱导图形化的工艺参数优化方案.
利用液體薄膜錶麵熱擾動造成的錶麵張力失穩特性,提齣一種常溫條件下的非接觸式電場誘導聚閤物圖形化技術.採用Navier-Stokes方程和線性穩定分析理論建立瞭薄膜流體的電場誘導力學模型,闡明瞭電場誘導過程中微結構的形成機理和週期特性,併詳細分析瞭微結構的成長因數.採用低黏度紫外光固化型聚閤物作為圖形化材料,在常溫條件進行瞭電場誘導成形實驗研究,實驗結果證明瞭電場誘導成形在常溫條件下應用于紫外光固化型聚閤物的可行性.在導電的摻雜硅片基底上以勻膠方式製備0.8 μm厚的紫外光固化型聚閤物薄膜,使用平整的導電玻璃作為無圖形模闆.在基底和模闆間施加25 V的直流電壓進行電場誘導成形實驗,穫得瞭平均中心間距為37.6 μm,平均直徑為24.8 μm的大麵積週期性柱狀結構.將基底和模闆間的電壓提高至30 V,週期性柱狀結構的中心間距降低為30.8 μm,平均直徑降低為18.5 μm.另外,採用理論模型對誘導成形過程中的誘導時間、成形特點和圖型特徵等要素進行瞭詳細的分析,併提齣瞭穫得高精度、快速電場誘導圖形化的工藝參數優化方案.
이용액체박막표면열우동조성적표면장력실은특성,제출일충상온조건하적비접촉식전장유도취합물도형화기술.채용Navier-Stokes방정화선성은정분석이론건립료박막류체적전장유도역학모형,천명료전장유도과정중미결구적형성궤리화주기특성,병상세분석료미결구적성장인수.채용저점도자외광고화형취합물작위도형화재료,재상온조건진행료전장유도성형실험연구,실험결과증명료전장유도성형재상온조건하응용우자외광고화형취합물적가행성.재도전적참잡규편기저상이균효방식제비0.8 μm후적자외광고화형취합물박막,사용평정적도전파리작위무도형모판.재기저화모판간시가25 V적직류전압진행전장유도성형실험,획득료평균중심간거위37.6 μm,평균직경위24.8 μm적대면적주기성주상결구.장기저화모판간적전압제고지30 V,주기성주상결구적중심간거강저위30.8 μm,평균직경강저위18.5 μm.령외,채용이론모형대유도성형과정중적유도시간、성형특점화도형특정등요소진행료상세적분석,병제출료획득고정도、쾌속전장유도도형화적공예삼수우화방안.
