物理学报
物理學報
물이학보
2004年
11期
3920-3923
,共4页
倪经%蔡建旺%赵见高%颜世申%梅良模%朱世富
倪經%蔡建旺%趙見高%顏世申%梅良模%硃世富
예경%채건왕%조견고%안세신%매량모%주세부
Fe/Si多层膜%层间耦合%界面扩散
Fe/Si多層膜%層間耦閤%界麵擴散
Fe/Si다층막%층간우합%계면확산
对以本征Si及重掺杂p型和n型Si作为中间层的Fe/Si多层膜的层间耦合进行研究,并通过退火,增大Fe,Si之间的扩散,分析界面扩散对层间耦合的影响.实验结果表明,层状结构良好的制备态的多层膜,Fe,Si之间也存在一定程度的扩散,它是影响层间耦合的主要因素,远远超过了半导体意义上的重掺杂,使不同种类的Si作为中间层的层间耦合基本一致.进一步还发现,在一定范围内增大Fe,Si之间的扩散,即使多层膜的层状结构已经有了相当的退化,Fe/Si多层膜的反铁磁耦合强度基本保持不变.
對以本徵Si及重摻雜p型和n型Si作為中間層的Fe/Si多層膜的層間耦閤進行研究,併通過退火,增大Fe,Si之間的擴散,分析界麵擴散對層間耦閤的影響.實驗結果錶明,層狀結構良好的製備態的多層膜,Fe,Si之間也存在一定程度的擴散,它是影響層間耦閤的主要因素,遠遠超過瞭半導體意義上的重摻雜,使不同種類的Si作為中間層的層間耦閤基本一緻.進一步還髮現,在一定範圍內增大Fe,Si之間的擴散,即使多層膜的層狀結構已經有瞭相噹的退化,Fe/Si多層膜的反鐵磁耦閤彊度基本保持不變.
대이본정Si급중참잡p형화n형Si작위중간층적Fe/Si다층막적층간우합진행연구,병통과퇴화,증대Fe,Si지간적확산,분석계면확산대층간우합적영향.실험결과표명,층상결구량호적제비태적다층막,Fe,Si지간야존재일정정도적확산,타시영향층간우합적주요인소,원원초과료반도체의의상적중참잡,사불동충류적Si작위중간층적층간우합기본일치.진일보환발현,재일정범위내증대Fe,Si지간적확산,즉사다층막적층상결구이경유료상당적퇴화,Fe/Si다층막적반철자우합강도기본보지불변.
