聚乙二醇对溶胶-凝胶SiO2增透膜激光损伤行为的影响
취을이순대용효-응효SiO2증투막격광손상행위적영향
Effect of PEG on laser damage of sol-gel SiO2 anti-reflective coating
  • 万方数据
    强激光与粒子束 강격광여입자속
    HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
    2005年 5期 669-672 ,共4页

    张磊%徐耀%黄祖鑫%杨东江%蒋晓东%吴东%孙予罕%魏晓峰

    장뢰%서요%황조흠%양동강%장효동%오동%손여한%위효봉

    溶胶-凝胶法%激光损伤阈值%激光损伤形貌%聚乙二醇 溶膠-凝膠法%激光損傷閾值%激光損傷形貌%聚乙二醇
    용효-응효법%격광손상역치%격광손상형모%취을이순
    采用溶胶-凝胶工艺制备了聚乙二醇(PEG)改性SiO2单层增透膜,用输出波长1.06μm,脉宽3ns的调Q激光系统产生的强激光进行辐照实验.观察了添加PEG前后的膜层的微结构、表面形貌以及激光损伤行为的变化,讨论了PEG对薄膜激光损伤行为产生影响的机制.结果表明:添加的PEG可以修饰、导向溶胶簇团的生长和交联,并使之有序,由此制备的薄膜结构规整,微缺陷减少,这就提高了膜层的激光损伤阈值;在激光辐照过程中,膜料吸收激光能量,膜层温度升高,膜层的PEG分子受热逐步分解挥发,膜层产生损伤.
    채용용효-응효공예제비료취을이순(PEG)개성SiO2단층증투막,용수출파장1.06μm,맥관3ns적조Q격광계통산생적강격광진행복조실험.관찰료첨가PEG전후적막층적미결구、표면형모이급격광손상행위적변화,토론료PEG대박막격광손상행위산생영향적궤제.결과표명:첨가적PEG가이수식、도향용효족단적생장화교련,병사지유서,유차제비적박막결구규정,미결함감소,저취제고료막층적격광손상역치;재격광복조과정중,막료흡수격광능량,막층온도승고,막층적PEG분자수열축보분해휘발,막층산생손상.
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