材料保护
材料保護
재료보호
MATERIALS PROTECTION
2007年
3期
1-3,23
,共4页
ZrAlN涂层%离子束辅助沉积%电弧离子镀%高速钢片%单晶硅片%性能
ZrAlN塗層%離子束輔助沉積%電弧離子鍍%高速鋼片%單晶硅片%性能
ZrAlN도층%리자속보조침적%전호리자도%고속강편%단정규편%성능
利用等离子体辅助电弧沉积技术在高速钢片和单晶硅片P(100)上沉积ZrAlN多元薄膜,利用扫描电镜、能谱分析、X射线衍射对薄膜进行了结构和形貌表征,利用显微硬度计、摩擦磨损试验仪对薄膜的性能进行了检测,并研究了铝含量对薄膜组织结构、形貌、显微硬度及耐磨性能等的影响.结果表明:ZrAlN多元薄膜有(111)面的择优取向,随Al含量的增加,(111)衍射峰的位置向小角度偏移,当Al原子分数大于3%时,薄膜中出现AlN相;随着Al含量的增加,薄膜的硬度和耐磨损性能先增加后降低,在Al原子分数为3%时,获最高硬度1570 HV0.5N和最小磨痕宽度93μm,这是薄膜中Al含量不同引起晶体结构变化造成的.
利用等離子體輔助電弧沉積技術在高速鋼片和單晶硅片P(100)上沉積ZrAlN多元薄膜,利用掃描電鏡、能譜分析、X射線衍射對薄膜進行瞭結構和形貌錶徵,利用顯微硬度計、摩抆磨損試驗儀對薄膜的性能進行瞭檢測,併研究瞭鋁含量對薄膜組織結構、形貌、顯微硬度及耐磨性能等的影響.結果錶明:ZrAlN多元薄膜有(111)麵的擇優取嚮,隨Al含量的增加,(111)衍射峰的位置嚮小角度偏移,噹Al原子分數大于3%時,薄膜中齣現AlN相;隨著Al含量的增加,薄膜的硬度和耐磨損性能先增加後降低,在Al原子分數為3%時,穫最高硬度1570 HV0.5N和最小磨痕寬度93μm,這是薄膜中Al含量不同引起晶體結構變化造成的.
이용등리자체보조전호침적기술재고속강편화단정규편P(100)상침적ZrAlN다원박막,이용소묘전경、능보분석、X사선연사대박막진행료결구화형모표정,이용현미경도계、마찰마손시험의대박막적성능진행료검측,병연구료려함량대박막조직결구、형모、현미경도급내마성능등적영향.결과표명:ZrAlN다원박막유(111)면적택우취향,수Al함량적증가,(111)연사봉적위치향소각도편이,당Al원자분수대우3%시,박막중출현AlN상;수착Al함량적증가,박막적경도화내마손성능선증가후강저,재Al원자분수위3%시,획최고경도1570 HV0.5N화최소마흔관도93μm,저시박막중Al함량불동인기정체결구변화조성적.
