实验力学
實驗力學
실험역학
JOURNAL OF EXPERIMENTAL MECHANICS
2007年
3期
401-406
,共6页
董凤良%焦斌斌%张青川%陈大鹏%缪正宇%熊志铭
董鳳良%焦斌斌%張青川%陳大鵬%繆正宇%熊誌銘
동봉량%초빈빈%장청천%진대붕%무정우%웅지명
非制冷红外成像%光学读出%焦平面阵列%噪声等效温度差
非製冷紅外成像%光學讀齣%焦平麵陣列%譟聲等效溫度差
비제랭홍외성상%광학독출%초평면진렬%조성등효온도차
针对以前红外成像中红外图像的噪声等效温度差(NETD)较大和空间分辨率不高的问题,本文在制作工艺改善的基础上,设计了一个单元尺寸分别是50μm×50μm 和60μm×60μm的红外焦平面阵列(FPA),它是由0.5μm厚的SiNx和0.2μm厚的Au构成的双材料微悬臂梁阵列构成.微梁单元倾斜角的变化利用在谱平面刀口滤波的光学方法测量.FPA是利用基于体硅的表面微加工工艺制作的,利用制作的FPA的60μm×60μm单元区域和12bit CCD,得到了室温物体的热像.讨论了60μm×60μm单元区域的性能,给出了NETD在100mK左右.和以前的工作相比,红外图像的温度分辨率和空间分辨率都得到了明显改善.
針對以前紅外成像中紅外圖像的譟聲等效溫度差(NETD)較大和空間分辨率不高的問題,本文在製作工藝改善的基礎上,設計瞭一箇單元呎吋分彆是50μm×50μm 和60μm×60μm的紅外焦平麵陣列(FPA),它是由0.5μm厚的SiNx和0.2μm厚的Au構成的雙材料微懸臂樑陣列構成.微樑單元傾斜角的變化利用在譜平麵刀口濾波的光學方法測量.FPA是利用基于體硅的錶麵微加工工藝製作的,利用製作的FPA的60μm×60μm單元區域和12bit CCD,得到瞭室溫物體的熱像.討論瞭60μm×60μm單元區域的性能,給齣瞭NETD在100mK左右.和以前的工作相比,紅外圖像的溫度分辨率和空間分辨率都得到瞭明顯改善.
침대이전홍외성상중홍외도상적조성등효온도차(NETD)교대화공간분변솔불고적문제,본문재제작공예개선적기출상,설계료일개단원척촌분별시50μm×50μm 화60μm×60μm적홍외초평면진렬(FPA),타시유0.5μm후적SiNx화0.2μm후적Au구성적쌍재료미현비량진렬구성.미량단원경사각적변화이용재보평면도구려파적광학방법측량.FPA시이용기우체규적표면미가공공예제작적,이용제작적FPA적60μm×60μm단원구역화12bit CCD,득도료실온물체적열상.토론료60μm×60μm단원구역적성능,급출료NETD재100mK좌우.화이전적공작상비,홍외도상적온도분변솔화공간분변솔도득도료명현개선.
