分析测试技术与仪器
分析測試技術與儀器
분석측시기술여의기
ANALYSIS AND TESTING TECHNOLOGY AND INSTRUMENTS
2010年
3期
162-165
,共4页
Pt/Ti电极%X射线衍射%应力
Pt/Ti電極%X射線衍射%應力
Pt/Ti전겁%X사선연사%응력
常温下用直流溅射法在Si(100)上淀积Pt/Ti电极薄膜.采用X射线衍射、原子力显微镜检测不同退火温度的薄膜,结果表明,退火初期Pt层内首先产生了压应力,从而使Pt表面形成了小丘凸起;退火过程产生的热应力在Pt层残余应力的产生中占主导地位,这种热应力使得Pt层最后的应力状态为张应力状态并且随着Pt层中Pt2Ti金属间化合物数量的增多而增大.
常溫下用直流濺射法在Si(100)上澱積Pt/Ti電極薄膜.採用X射線衍射、原子力顯微鏡檢測不同退火溫度的薄膜,結果錶明,退火初期Pt層內首先產生瞭壓應力,從而使Pt錶麵形成瞭小丘凸起;退火過程產生的熱應力在Pt層殘餘應力的產生中佔主導地位,這種熱應力使得Pt層最後的應力狀態為張應力狀態併且隨著Pt層中Pt2Ti金屬間化閤物數量的增多而增大.
상온하용직류천사법재Si(100)상정적Pt/Ti전겁박막.채용X사선연사、원자력현미경검측불동퇴화온도적박막,결과표명,퇴화초기Pt층내수선산생료압응력,종이사Pt표면형성료소구철기;퇴화과정산생적열응력재Pt층잔여응력적산생중점주도지위,저충열응력사득Pt층최후적응력상태위장응력상태병차수착Pt층중Pt2Ti금속간화합물수량적증다이증대.
