CAJ | 학술논문

为了进一步扩大原子力显微镜(AFM)的应用范围,研制出一套大范围高速AFM系统.该系统采用上、下两个扫描器,上扫描器负责Z方向闭环控制的动态响应,下扫描器负责X、Y方向平面扫描及Z方向补偿控制.针对样品放置倾斜对大范围扫描成像的影响,提出基于多线扫描的样品自动调平控制技术.首先通过多线扫描确定样品倾斜位置,然后将所有扫描点的倾斜位移差用函数式表达,最后将位移差换算为控制电压作为扫描器Z向的前馈控制输入.实验结果表明,能消除样品倾斜对AFM大范围扫描的影响.
위료진일보확대원자력현미경(AFM)적응용범위,연제출일투대범위고속AFM계통.해계통채용상、하량개소묘기,상소묘기부책Z방향폐배공제적동태향응,하소묘기부책X、Y방향평면소묘급Z방향보상공제.침대양품방치경사대대범위소묘성상적영향,제출기우다선소묘적양품자동조평공제기술.수선통과다선소묘학정양품경사위치,연후장소유소묘점적경사위이차용함수식표체,최후장위이차환산위공제전압작위소묘기Z향적전궤공제수입.실험결과표명,능소제양품경사대AFM대범위소묘적영향.