信息记录材料
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신식기록재료
INFORMATION RECORDING MATERIALS
2011年
2期
45-49
,共5页
刘力行%曹瑞军%白龙腾%李祥明
劉力行%曹瑞軍%白龍騰%李祥明
류역행%조서군%백룡등%리상명
纳米压印%UV光固化%感光树脂%电润湿%电毛细
納米壓印%UV光固化%感光樹脂%電潤濕%電毛細
납미압인%UV광고화%감광수지%전윤습%전모세
纳米压印技术作为1种新兴的微纳制造技术,受到了学术界极大的关注.UV光固化纳米压印因其工艺加工精度高,生产效率高,成本低,对准性好,在纳米压印中具有无可比拟的优势.在其不断发展中对核心要素之一的感光树脂的应用也提出了新的要求与挑战.本文总结了纳米压印技术及感光树脂应用的发展,同时提出了1种新的纳米压印光刻技术,并对感光树脂的发展提出展望.
納米壓印技術作為1種新興的微納製造技術,受到瞭學術界極大的關註.UV光固化納米壓印因其工藝加工精度高,生產效率高,成本低,對準性好,在納米壓印中具有無可比擬的優勢.在其不斷髮展中對覈心要素之一的感光樹脂的應用也提齣瞭新的要求與挑戰.本文總結瞭納米壓印技術及感光樹脂應用的髮展,同時提齣瞭1種新的納米壓印光刻技術,併對感光樹脂的髮展提齣展望.
납미압인기술작위1충신흥적미납제조기술,수도료학술계겁대적관주.UV광고화납미압인인기공예가공정도고,생산효솔고,성본저,대준성호,재납미압인중구유무가비의적우세.재기불단발전중대핵심요소지일적감광수지적응용야제출료신적요구여도전.본문총결료납미압인기술급감광수지응용적발전,동시제출료1충신적납미압인광각기술,병대감광수지적발전제출전망.
