红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2004年
3期
176-180
,共5页
李宇杰%石鹏博%段然%张伯蕊%乔永平%秦国刚%黄兰
李宇傑%石鵬博%段然%張伯蕊%喬永平%秦國剛%黃蘭
리우걸%석붕박%단연%장백예%교영평%진국강%황란
凝聚态物理%ZnO纳米颗粒%化学气相沉积%Si衬底%光致发光
凝聚態物理%ZnO納米顆粒%化學氣相沉積%Si襯底%光緻髮光
응취태물리%ZnO납미과립%화학기상침적%Si츤저%광치발광
首次以ZnS为源,采用化学气相沉积法在抛光的Si单晶片衬底上生长晶态的ZnO纳米颗粒,其形貌、尺寸和密度都与气体流量、衬底温度、生长时间以及有无催化剂等生长条件密切相关.在没有Au催化的条件下,ZnO颗粒呈圆形颗粒,直径多在30-200nm之间,密度为104-109cm-2;有Au催化的条件下,ZnO纳米颗粒呈六边形,平均尺寸明显变小,在10-100cm之间,而密度显著提高,为108-1010cm-2.所制备的纳米ZnO颗粒在497nm和376nm附近分别有很强和较弱的光致发光.
首次以ZnS為源,採用化學氣相沉積法在拋光的Si單晶片襯底上生長晶態的ZnO納米顆粒,其形貌、呎吋和密度都與氣體流量、襯底溫度、生長時間以及有無催化劑等生長條件密切相關.在沒有Au催化的條件下,ZnO顆粒呈圓形顆粒,直徑多在30-200nm之間,密度為104-109cm-2;有Au催化的條件下,ZnO納米顆粒呈六邊形,平均呎吋明顯變小,在10-100cm之間,而密度顯著提高,為108-1010cm-2.所製備的納米ZnO顆粒在497nm和376nm附近分彆有很彊和較弱的光緻髮光.
수차이ZnS위원,채용화학기상침적법재포광적Si단정편츤저상생장정태적ZnO납미과립,기형모、척촌화밀도도여기체류량、츤저온도、생장시간이급유무최화제등생장조건밀절상관.재몰유Au최화적조건하,ZnO과립정원형과립,직경다재30-200nm지간,밀도위104-109cm-2;유Au최화적조건하,ZnO납미과립정륙변형,평균척촌명현변소,재10-100cm지간,이밀도현저제고,위108-1010cm-2.소제비적납미ZnO과립재497nm화376nm부근분별유흔강화교약적광치발광.
