微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2005年
1期
12-16
,共5页
大角度离子注入机%控制器%异常处理%软件流程
大角度離子註入機%控製器%異常處理%軟件流程
대각도리자주입궤%공제기%이상처리%연건류정
为了使离子注入机满足生产线工艺的要求,控制系统的设计必须使控制功能完善、控制命令响应迅速、命令执行准确可靠、异常处理迅速有效和整机工作稳定可靠.LC19离子注入机控制系统采用主从集中式控制方法,较好地解决了控制功能复杂与控制系统反应迅速、高效、稳定、可靠之间的矛盾.其主控制器的设计采用双端口存储器传递主控制计算机的命令,实现对各子控制系统的控制,其原理简单,但很好地解决了主从式集中控制方法中信息高速传递的难题.计算机与主控制器间采用8位总线送数,主控制器与子控制器之间采用高速串口送数.主控制计算机可向双端口存储器的A,B两区交替发送命令.而且,主从控制器之间采用了巧妙的通讯监控方法,一旦发生通讯故障,子控制器就会清"0"复位,避免机器失控.介绍了主从式集中控制的硬件及其特点,分析了主控制器的设计原理,说明了其软件流程,简述了其调试结果.
為瞭使離子註入機滿足生產線工藝的要求,控製繫統的設計必鬚使控製功能完善、控製命令響應迅速、命令執行準確可靠、異常處理迅速有效和整機工作穩定可靠.LC19離子註入機控製繫統採用主從集中式控製方法,較好地解決瞭控製功能複雜與控製繫統反應迅速、高效、穩定、可靠之間的矛盾.其主控製器的設計採用雙耑口存儲器傳遞主控製計算機的命令,實現對各子控製繫統的控製,其原理簡單,但很好地解決瞭主從式集中控製方法中信息高速傳遞的難題.計算機與主控製器間採用8位總線送數,主控製器與子控製器之間採用高速串口送數.主控製計算機可嚮雙耑口存儲器的A,B兩區交替髮送命令.而且,主從控製器之間採用瞭巧妙的通訊鑑控方法,一旦髮生通訊故障,子控製器就會清"0"複位,避免機器失控.介紹瞭主從式集中控製的硬件及其特點,分析瞭主控製器的設計原理,說明瞭其軟件流程,簡述瞭其調試結果.
위료사리자주입궤만족생산선공예적요구,공제계통적설계필수사공제공능완선、공제명령향응신속、명령집행준학가고、이상처리신속유효화정궤공작은정가고.LC19리자주입궤공제계통채용주종집중식공제방법,교호지해결료공제공능복잡여공제계통반응신속、고효、은정、가고지간적모순.기주공제기적설계채용쌍단구존저기전체주공제계산궤적명령,실현대각자공제계통적공제,기원리간단,단흔호지해결료주종식집중공제방법중신식고속전체적난제.계산궤여주공제기간채용8위총선송수,주공제기여자공제기지간채용고속천구송수.주공제계산궤가향쌍단구존저기적A,B량구교체발송명령.이차,주종공제기지간채용료교묘적통신감공방법,일단발생통신고장,자공제기취회청"0"복위,피면궤기실공.개소료주종식집중공제적경건급기특점,분석료주공제기적설계원리,설명료기연건류정,간술료기조시결과.
