物理学报
物理學報
물이학보
2005年
4期
1687-1692
,共6页
吴志国%张伟伟%白利峰%王君%阎鹏勋
吳誌國%張偉偉%白利峰%王君%閻鵬勛
오지국%장위위%백리봉%왕군%염붕훈
氮化铜薄膜%多弧直流磁控溅射%立方反ReO3结构
氮化銅薄膜%多弧直流磁控濺射%立方反ReO3結構
담화동박막%다호직류자공천사%립방반ReO3결구
采用柱状靶多弧直流磁控溅射法,100℃基底温度下在玻璃衬底上制备了纳米氮化铜(Cu3N)薄膜.用x射线衍射研究了不同氮气分压对Cu3N薄膜晶体结构及晶粒尺寸的影响.结果显示薄膜由Cu3N和Cu的纳米微晶复合而成,其中Cu3N纳米微晶具有立方反ReO3结构.通过原子力显微镜对薄膜表征显示,膜表面比较光滑,具有较低的粗糙度.x射线光电子能谱对薄膜表面的成分分析表明,Cu3N薄膜表面铜元素同时以+1价和+2价存在.Cu3N的Cu2p3/2,Cu2p1/2及Nls峰分别位于932.7,952.7和399.9 eV,Cu2p原子自旋-轨道耦合裂分能量间距为20eV.用台阶仪和四探针方法测量了薄膜的厚度及电阻率,薄膜的沉积速率和电阻率在很大程度上受到氮气分压的调制.
採用柱狀靶多弧直流磁控濺射法,100℃基底溫度下在玻璃襯底上製備瞭納米氮化銅(Cu3N)薄膜.用x射線衍射研究瞭不同氮氣分壓對Cu3N薄膜晶體結構及晶粒呎吋的影響.結果顯示薄膜由Cu3N和Cu的納米微晶複閤而成,其中Cu3N納米微晶具有立方反ReO3結構.通過原子力顯微鏡對薄膜錶徵顯示,膜錶麵比較光滑,具有較低的粗糙度.x射線光電子能譜對薄膜錶麵的成分分析錶明,Cu3N薄膜錶麵銅元素同時以+1價和+2價存在.Cu3N的Cu2p3/2,Cu2p1/2及Nls峰分彆位于932.7,952.7和399.9 eV,Cu2p原子自鏇-軌道耦閤裂分能量間距為20eV.用檯階儀和四探針方法測量瞭薄膜的厚度及電阻率,薄膜的沉積速率和電阻率在很大程度上受到氮氣分壓的調製.
채용주상파다호직류자공천사법,100℃기저온도하재파리츤저상제비료납미담화동(Cu3N)박막.용x사선연사연구료불동담기분압대Cu3N박막정체결구급정립척촌적영향.결과현시박막유Cu3N화Cu적납미미정복합이성,기중Cu3N납미미정구유립방반ReO3결구.통과원자력현미경대박막표정현시,막표면비교광활,구유교저적조조도.x사선광전자능보대박막표면적성분분석표명,Cu3N박막표면동원소동시이+1개화+2개존재.Cu3N적Cu2p3/2,Cu2p1/2급Nls봉분별위우932.7,952.7화399.9 eV,Cu2p원자자선-궤도우합렬분능량간거위20eV.용태계의화사탐침방법측량료박막적후도급전조솔,박막적침적속솔화전조솔재흔대정도상수도담기분압적조제.
