光学与光电技术
光學與光電技術
광학여광전기술
OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
3期
51-55
,共5页
程勇%王淑云%郭延龙%杨雪%陆益敏
程勇%王淑雲%郭延龍%楊雪%陸益敏
정용%왕숙운%곽연룡%양설%륙익민
类金刚石膜%激光沉积%氧气氛%掺杂
類金剛石膜%激光沉積%氧氣氛%摻雜
류금강석막%격광침적%양기분%참잡
现有技术制备的类金刚石(DLC)膜由于含氢、硬度低、内应力大、附着力差等特点,严重限制了其光学工程应用.激光法是近年发展的一种制备DLC膜的新方法,相比其他制备方法具有诸多优点.综合分析了激光制备DLC膜过程中,激光波长、脉宽、功率密度、衬底温度和偏压等因素对薄膜质量的影响规律.采用氧气氛辅助沉积、元素掺杂和双波长激光复合沉积等关键改进技术,实现了在Si、Ge等基底上激光制备DLC膜光学工程化应用.
現有技術製備的類金剛石(DLC)膜由于含氫、硬度低、內應力大、附著力差等特點,嚴重限製瞭其光學工程應用.激光法是近年髮展的一種製備DLC膜的新方法,相比其他製備方法具有諸多優點.綜閤分析瞭激光製備DLC膜過程中,激光波長、脈寬、功率密度、襯底溫度和偏壓等因素對薄膜質量的影響規律.採用氧氣氛輔助沉積、元素摻雜和雙波長激光複閤沉積等關鍵改進技術,實現瞭在Si、Ge等基底上激光製備DLC膜光學工程化應用.
현유기술제비적류금강석(DLC)막유우함경、경도저、내응력대、부착력차등특점,엄중한제료기광학공정응용.격광법시근년발전적일충제비DLC막적신방법,상비기타제비방법구유제다우점.종합분석료격광제비DLC막과정중,격광파장、맥관、공솔밀도、츤저온도화편압등인소대박막질량적영향규률.채용양기분보조침적、원소참잡화쌍파장격광복합침적등관건개진기술,실현료재Si、Ge등기저상격광제비DLC막광학공정화응용.
