激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2011年
5期
708-711
,共4页
激光技术%光与物质相互作用%激光刻蚀%高分子聚合物%有机玻璃
激光技術%光與物質相互作用%激光刻蝕%高分子聚閤物%有機玻璃
격광기술%광여물질상호작용%격광각식%고분자취합물%유궤파리
为了研究准分子激光刻蚀聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)的内在机理,将波长为248nm的KrF准分子激光垂直照射到PMMA材料表面,改变激光能量和脉冲数目,在大气背景下进行实验,照射后样品的表面形貌及化学结构用扫描电子显微镜( SEM)、3维形貌分析仪、X射线光电子能谱(XPS)等手段进行分析.SEM测试表明,在刻蚀区域出现孔状结构,说明刻蚀过程中有气体成分产生.XPS测试表明,激光照射后C1s峰的强度减弱而O1s峰增强,据此推测PMMA侧链上的甲基被刻蚀掉且空气中的O2参与了反应.另外还研究了激光能量和脉冲数目对刻蚀率和表面粗糙度的影响.结果表明,随着激光能量和脉冲数目增加,刻蚀率和粗糙度并不是一直呈现递增的趋势.
為瞭研究準分子激光刻蝕聚甲基丙烯痠甲酯(PMMA)的內在機理,將波長為248nm的KrF準分子激光垂直照射到PMMA材料錶麵,改變激光能量和脈遲數目,在大氣揹景下進行實驗,照射後樣品的錶麵形貌及化學結構用掃描電子顯微鏡( SEM)、3維形貌分析儀、X射線光電子能譜(XPS)等手段進行分析.SEM測試錶明,在刻蝕區域齣現孔狀結構,說明刻蝕過程中有氣體成分產生.XPS測試錶明,激光照射後C1s峰的彊度減弱而O1s峰增彊,據此推測PMMA側鏈上的甲基被刻蝕掉且空氣中的O2參與瞭反應.另外還研究瞭激光能量和脈遲數目對刻蝕率和錶麵粗糙度的影響.結果錶明,隨著激光能量和脈遲數目增加,刻蝕率和粗糙度併不是一直呈現遞增的趨勢.
위료연구준분자격광각식취갑기병희산갑지(PMMA)적내재궤리,장파장위248nm적KrF준분자격광수직조사도PMMA재료표면,개변격광능량화맥충수목,재대기배경하진행실험,조사후양품적표면형모급화학결구용소묘전자현미경( SEM)、3유형모분석의、X사선광전자능보(XPS)등수단진행분석.SEM측시표명,재각식구역출현공상결구,설명각식과정중유기체성분산생.XPS측시표명,격광조사후C1s봉적강도감약이O1s봉증강,거차추측PMMA측련상적갑기피각식도차공기중적O2삼여료반응.령외환연구료격광능량화맥충수목대각식솔화표면조조도적영향.결과표명,수착격광능량화맥충수목증가,각식솔화조조도병불시일직정현체증적추세.
