太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2011年
10期
1431-1435
,共5页
曹晓宁%周春兰%赵雷%李海玲%刘振刚%刁宏伟%王文静
曹曉寧%週春蘭%趙雷%李海玲%劉振剛%刁宏偉%王文靜
조효저%주춘란%조뢰%리해령%류진강%조굉위%왕문정
SiNx:H薄膜%PECVD%钝化%光学折射系数
SiNx:H薄膜%PECVD%鈍化%光學摺射繫數
SiNx:H박막%PECVD%둔화%광학절사계수
利用射频等离子体增强化学气相沉积法制备了在太阳电池中用作表面钝化和减反层的SiNx:H薄膜.制备的折射系数分布在1.72 ～2.55范围内的一系列薄膜对电阻率为10Ω·cm的p型衬底硅片具有较好的钝化效果.研究给出了SiH4/NH3流量比和衬底温度对薄膜折射系数和钝化效果的影响规律,当衬底温度为300℃,SiH4/NH3流量比低于50/15时,制备的SiNx:H薄膜具有优良的减反钝化效果.
利用射頻等離子體增彊化學氣相沉積法製備瞭在太暘電池中用作錶麵鈍化和減反層的SiNx:H薄膜.製備的摺射繫數分佈在1.72 ～2.55範圍內的一繫列薄膜對電阻率為10Ω·cm的p型襯底硅片具有較好的鈍化效果.研究給齣瞭SiH4/NH3流量比和襯底溫度對薄膜摺射繫數和鈍化效果的影響規律,噹襯底溫度為300℃,SiH4/NH3流量比低于50/15時,製備的SiNx:H薄膜具有優良的減反鈍化效果.
이용사빈등리자체증강화학기상침적법제비료재태양전지중용작표면둔화화감반층적SiNx:H박막.제비적절사계수분포재1.72 ～2.55범위내적일계렬박막대전조솔위10Ω·cm적p형츤저규편구유교호적둔화효과.연구급출료SiH4/NH3류량비화츤저온도대박막절사계수화둔화효과적영향규률,당츤저온도위300℃,SiH4/NH3류량비저우50/15시,제비적SiNx:H박막구유우량적감반둔화효과.
