激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2004年
5期
463-465,468
,共4页
胡少六%江超%何建平%王又青
鬍少六%江超%何建平%王又青
호소륙%강초%하건평%왕우청
Al/Ag掺杂薄膜%脉冲激光沉积%微观分析%工艺参数
Al/Ag摻雜薄膜%脈遲激光沉積%微觀分析%工藝參數
Al/Ag참잡박막%맥충격광침적%미관분석%공예삼수
为了寻找制备梯度金属薄膜的新方法和新工艺,采用脉冲准分子激光扫描沉积技术,在Si(100)单晶衬底上沉积了Al/Ag掺杂功能梯度薄膜,并采用SEM 和XPS 对制备的薄膜进行了微观分析.分析结果表明,运用合适的激光参数和辅助放电,在沉积温度300℃时,制备出了Al/Ag组分比近似为5∶ 1的掺杂梯度薄膜.该实验方法说明,利用脉冲激光与金属掺杂靶相互作用沉积梯度金属薄膜是可行的.
為瞭尋找製備梯度金屬薄膜的新方法和新工藝,採用脈遲準分子激光掃描沉積技術,在Si(100)單晶襯底上沉積瞭Al/Ag摻雜功能梯度薄膜,併採用SEM 和XPS 對製備的薄膜進行瞭微觀分析.分析結果錶明,運用閤適的激光參數和輔助放電,在沉積溫度300℃時,製備齣瞭Al/Ag組分比近似為5∶ 1的摻雜梯度薄膜.該實驗方法說明,利用脈遲激光與金屬摻雜靶相互作用沉積梯度金屬薄膜是可行的.
위료심조제비제도금속박막적신방법화신공예,채용맥충준분자격광소묘침적기술,재Si(100)단정츤저상침적료Al/Ag참잡공능제도박막,병채용SEM 화XPS 대제비적박막진행료미관분석.분석결과표명,운용합괄적격광삼수화보조방전,재침적온도300℃시,제비출료Al/Ag조분비근사위5∶ 1적참잡제도박막.해실험방법설명,이용맥충격광여금속참잡파상호작용침적제도금속박막시가행적.
