晶片传递手指优化设计
정편전체수지우화설계
Optimal Design of the Wafer Transfer Finger
  • 万方数据
    装备制造技术 장비제조기술
    EQUIPMENT MANUFACTURING TECHNOLOGY
    2011年 11期 46-47,66 ,共3页

    谷德君%张浩渊%占继奎

    곡덕군%장호연%점계규

    传递手指%优化设计%APDL 傳遞手指%優化設計%APDL
    전체수지%우화설계%APDL
    通过使用ANSYS软件的优化模块,对机器人常见的Y型手指结构进行优化,结果有效地减少了手指端部的下挠度,降低了手指下挠在示教阶段产生的不良影响.
    통과사용ANSYS연건적우화모괴,대궤기인상견적Y형수지결구진행우화,결과유효지감소료수지단부적하뇨도,강저료수지하뇨재시교계단산생적불량영향.
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