微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2008年
4期
235-239,244
,共6页
一维纳米结构%轴向拉伸实验%纳米力学%微机电系统力学测试芯片%原位测试
一維納米結構%軸嚮拉伸實驗%納米力學%微機電繫統力學測試芯片%原位測試
일유납미결구%축향랍신실험%납미역학%미궤전계통역학측시심편%원위측시
对一维纳米结构开展轴向拉伸测试时,面临着样品制备、装载、拉伸、样品的轴向应力与应变的高精度测量等难点,解决途径包括改造现代显微仪器、研制MEMS力学测试芯片及发展一维纳米样品的制备与装载技术.从实验使用的测试仪器及拉伸方式出发,将目前发表的一维纳米拉伸实验分为基于探针、MEMS和电子束辐照开展的拉伸实验,并对各种实验方法进行了比较.发现基于MEMS的拉伸实验由于其对测试仪器的改造小、花费少、且通过设计制作不同测试功能的芯片可实现多样测试,是更有发展前景的测试技术.
對一維納米結構開展軸嚮拉伸測試時,麵臨著樣品製備、裝載、拉伸、樣品的軸嚮應力與應變的高精度測量等難點,解決途徑包括改造現代顯微儀器、研製MEMS力學測試芯片及髮展一維納米樣品的製備與裝載技術.從實驗使用的測試儀器及拉伸方式齣髮,將目前髮錶的一維納米拉伸實驗分為基于探針、MEMS和電子束輻照開展的拉伸實驗,併對各種實驗方法進行瞭比較.髮現基于MEMS的拉伸實驗由于其對測試儀器的改造小、花費少、且通過設計製作不同測試功能的芯片可實現多樣測試,是更有髮展前景的測試技術.
대일유납미결구개전축향랍신측시시,면림착양품제비、장재、랍신、양품적축향응력여응변적고정도측량등난점,해결도경포괄개조현대현미의기、연제MEMS역학측시심편급발전일유납미양품적제비여장재기술.종실험사용적측시의기급랍신방식출발,장목전발표적일유납미랍신실험분위기우탐침、MEMS화전자속복조개전적랍신실험,병대각충실험방법진행료비교.발현기우MEMS적랍신실험유우기대측시의기적개조소、화비소、차통과설계제작불동측시공능적심편가실현다양측시,시경유발전전경적측시기술.
