微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2008年
4期
205-208
,共4页
中频脉冲溅射%绒面ZnO%透明导电膜%腐蚀%结构
中頻脈遲濺射%絨麵ZnO%透明導電膜%腐蝕%結構
중빈맥충천사%융면ZnO%투명도전막%부식%결구
利用中频脉冲磁控溅射系统制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜.对平面ZnO薄膜进行短时间弱酸腐蚀,可以获得绒面效果的ZnO透明导电薄膜.分析了工作气压和衬底温度对薄膜绒面结构的影响,获得了适合薄膜太阳能电池的绒面ZnO透明导电薄膜.当压力控制在1.92 Pa左右,衬底温度150～170℃范围内沉积的薄膜具有最佳的绒面和较低的电阻率,电阻率可达5.57x10-4Ω·cm,载流子浓度2.2×1020cm-3,霍尔迁移率40.1 cm/V·s,在可见光范围平均透过率超过85%.
利用中頻脈遲磁控濺射繫統製備高透過率、高電導率的平麵ZnO薄膜.對平麵ZnO薄膜進行短時間弱痠腐蝕,可以穫得絨麵效果的ZnO透明導電薄膜.分析瞭工作氣壓和襯底溫度對薄膜絨麵結構的影響,穫得瞭適閤薄膜太暘能電池的絨麵ZnO透明導電薄膜.噹壓力控製在1.92 Pa左右,襯底溫度150～170℃範圍內沉積的薄膜具有最佳的絨麵和較低的電阻率,電阻率可達5.57x10-4Ω·cm,載流子濃度2.2×1020cm-3,霍爾遷移率40.1 cm/V·s,在可見光範圍平均透過率超過85%.
이용중빈맥충자공천사계통제비고투과솔、고전도솔적평면ZnO박막.대평면ZnO박막진행단시간약산부식,가이획득융면효과적ZnO투명도전박막.분석료공작기압화츤저온도대박막융면결구적영향,획득료괄합박막태양능전지적융면ZnO투명도전박막.당압력공제재1.92 Pa좌우,츤저온도150～170℃범위내침적적박막구유최가적융면화교저적전조솔,전조솔가체5.57x10-4Ω·cm,재류자농도2.2×1020cm-3,곽이천이솔40.1 cm/V·s,재가견광범위평균투과솔초과85%.
