传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2008年
12期
118-120
,共3页
亚微米梁%自停止腐蚀%电化学腐蚀%原电池
亞微米樑%自停止腐蝕%電化學腐蝕%原電池
아미미량%자정지부식%전화학부식%원전지
提出了利用无电极电化学腐蚀自停止技术制作亚微米梁结构的新工艺方法.根据金硅腐蚀自停止现象发生的条件,结合硅材料的各向异性腐蚀特性,设计器件结构,利用腐蚀暴露面积变化实现了硅的选择性自停止腐蚀.在(111)型硅片上利用原电池钝化效应一次性腐蚀出与衬底绝缘,由约4 μm厚的金电极支撑,厚度约为235nm的亚微米梁结构,具有制作简单、成品率高、成本低等特点,应用前景广阔.
提齣瞭利用無電極電化學腐蝕自停止技術製作亞微米樑結構的新工藝方法.根據金硅腐蝕自停止現象髮生的條件,結閤硅材料的各嚮異性腐蝕特性,設計器件結構,利用腐蝕暴露麵積變化實現瞭硅的選擇性自停止腐蝕.在(111)型硅片上利用原電池鈍化效應一次性腐蝕齣與襯底絕緣,由約4 μm厚的金電極支撐,厚度約為235nm的亞微米樑結構,具有製作簡單、成品率高、成本低等特點,應用前景廣闊.
제출료이용무전겁전화학부식자정지기술제작아미미량결구적신공예방법.근거금규부식자정지현상발생적조건,결합규재료적각향이성부식특성,설계기건결구,이용부식폭로면적변화실현료규적선택성자정지부식.재(111)형규편상이용원전지둔화효응일차성부식출여츤저절연,유약4 μm후적금전겁지탱,후도약위235nm적아미미량결구,구유제작간단、성품솔고、성본저등특점,응용전경엄활.
