真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
5期
576-579
,共4页
亲水性%接触角%能量过滤磁控溅射%纳米TiO2/ITO复合薄膜
親水性%接觸角%能量過濾磁控濺射%納米TiO2/ITO複閤薄膜
친수성%접촉각%능량과려자공천사%납미TiO2/ITO복합박막
本文采用直流反应磁控溅射法及能量过滤磁控溅射技术,以玻璃为衬底制备了纳米TiO2薄膜和纳米TiO2/ITO复合薄膜.利用X射线衍射(XRD) 、扫描电镜(SEM) 、紫外-可见分光光度计(UV-VIS) 、椭偏光谱仪(VASE型)和接触角测定等手段对薄膜进行了表征.研究表明:纳米TiO2/ITO复合薄膜表面水的初始接触角较纳米TiO2薄膜明显减小,ITO膜层的存在抑制了光生载流子的复合,在紫外光照射5min后接触角迅速下降,紫外光照射30min后接近0°,亲水性较纳米TiO2薄膜有明显提高;应用能量过滤磁控溅射技术制备的薄膜晶粒尺寸减小至10nm左右,薄膜表面平整,吸收边波长"蓝移"至320nm;纳米TiO2/ITO复合薄膜在可见光波段的透过率下降至60%左右,较纳米TiO2薄膜的80%明显降低.
本文採用直流反應磁控濺射法及能量過濾磁控濺射技術,以玻璃為襯底製備瞭納米TiO2薄膜和納米TiO2/ITO複閤薄膜.利用X射線衍射(XRD) 、掃描電鏡(SEM) 、紫外-可見分光光度計(UV-VIS) 、橢偏光譜儀(VASE型)和接觸角測定等手段對薄膜進行瞭錶徵.研究錶明:納米TiO2/ITO複閤薄膜錶麵水的初始接觸角較納米TiO2薄膜明顯減小,ITO膜層的存在抑製瞭光生載流子的複閤,在紫外光照射5min後接觸角迅速下降,紫外光照射30min後接近0°,親水性較納米TiO2薄膜有明顯提高;應用能量過濾磁控濺射技術製備的薄膜晶粒呎吋減小至10nm左右,薄膜錶麵平整,吸收邊波長"藍移"至320nm;納米TiO2/ITO複閤薄膜在可見光波段的透過率下降至60%左右,較納米TiO2薄膜的80%明顯降低.
본문채용직류반응자공천사법급능량과려자공천사기술,이파리위츤저제비료납미TiO2박막화납미TiO2/ITO복합박막.이용X사선연사(XRD) 、소묘전경(SEM) 、자외-가견분광광도계(UV-VIS) 、타편광보의(VASE형)화접촉각측정등수단대박막진행료표정.연구표명:납미TiO2/ITO복합박막표면수적초시접촉각교납미TiO2박막명현감소,ITO막층적존재억제료광생재류자적복합,재자외광조사5min후접촉각신속하강,자외광조사30min후접근0°,친수성교납미TiO2박막유명현제고;응용능량과려자공천사기술제비적박막정립척촌감소지10nm좌우,박막표면평정,흡수변파장"람이"지320nm;납미TiO2/ITO복합박막재가견광파단적투과솔하강지60%좌우,교납미TiO2박막적80%명현강저.
