人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
6期
1485-1489
,共5页
唐斌%邓宏%税正伟%张强%刘忠华%谌贵辉
唐斌%鄧宏%稅正偉%張彊%劉忠華%諶貴輝
당빈%산굉%세정위%장강%류충화%심귀휘
ZnO纳米针阵列%化学气相沉积%台阶动力学%奇异面
ZnO納米針陣列%化學氣相沉積%檯階動力學%奇異麵
ZnO납미침진렬%화학기상침적%태계동역학%기이면
采用化学气相沉积系统,不用催化剂,生长过程中采用变温技术,在Si基片上合成了ZnO纳米针阵列.扫描电子显微图(SEM)显示ZnO纳米针阵列整齐密集生长在基片上,其棒状部分粗细均匀,直径约100 nm.透射电子显微照片(TEM)显示ZnO纳米针尖端呈现一系列的台阶.X射线衍射(XRD)图谱上只存在ZnO的(002)衍射峰,说明ZnO纳米针沿c轴择优取向.运用台阶动力学和奇异面生长理论分析表明ZnO纳米棒是典型的奇异面上单二维成核法向层生长机制.当单圈圆台阶扫过整个晶面的时间ts大于奇异面法向生长一个台阶高度所用时间tn时,在纳米棒顶端形成针尖;当单圈圆台阶扫过整个晶面的时间ts小于或等于奇异面法向生长一个台阶高度所用时间tn时,在纳米棒顶端不能形成针尖.
採用化學氣相沉積繫統,不用催化劑,生長過程中採用變溫技術,在Si基片上閤成瞭ZnO納米針陣列.掃描電子顯微圖(SEM)顯示ZnO納米針陣列整齊密集生長在基片上,其棒狀部分粗細均勻,直徑約100 nm.透射電子顯微照片(TEM)顯示ZnO納米針尖耑呈現一繫列的檯階.X射線衍射(XRD)圖譜上隻存在ZnO的(002)衍射峰,說明ZnO納米針沿c軸擇優取嚮.運用檯階動力學和奇異麵生長理論分析錶明ZnO納米棒是典型的奇異麵上單二維成覈法嚮層生長機製.噹單圈圓檯階掃過整箇晶麵的時間ts大于奇異麵法嚮生長一箇檯階高度所用時間tn時,在納米棒頂耑形成針尖;噹單圈圓檯階掃過整箇晶麵的時間ts小于或等于奇異麵法嚮生長一箇檯階高度所用時間tn時,在納米棒頂耑不能形成針尖.
채용화학기상침적계통,불용최화제,생장과정중채용변온기술,재Si기편상합성료ZnO납미침진렬.소묘전자현미도(SEM)현시ZnO납미침진렬정제밀집생장재기편상,기봉상부분조세균균,직경약100 nm.투사전자현미조편(TEM)현시ZnO납미침첨단정현일계렬적태계.X사선연사(XRD)도보상지존재ZnO적(002)연사봉,설명ZnO납미침연c축택우취향.운용태계동역학화기이면생장이론분석표명ZnO납미봉시전형적기이면상단이유성핵법향층생장궤제.당단권원태계소과정개정면적시간ts대우기이면법향생장일개태계고도소용시간tn시,재납미봉정단형성침첨;당단권원태계소과정개정면적시간ts소우혹등우기이면법향생장일개태계고도소용시간tn시,재납미봉정단불능형성침첨.
