真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
5期
565-569
,共5页
庄晓波%张豪俊%朱绍龙%张善端
莊曉波%張豪俊%硃紹龍%張善耑
장효파%장호준%주소룡%장선단
介质阻挡放电%氯化氪准分子灯%222nm辐射%辐射效率%脉冲
介質阻擋放電%氯化氪準分子燈%222nm輻射%輻射效率%脈遲
개질조당방전%록화극준분자등%222nm복사%복사효솔%맥충
提出了一种测量KrCl*准分子灯222nm辐射效率的辐射度学方法.KrC1*准分子灯为同轴结构,内管和外管的内,外径分别为14,16和37,40mm.灯中充有总气压为2×104 Pa的氯气(Cl2)和氪气(Kr),其中含0.5％的氯气.KrCl*准分子灯用正弦和脉冲电源来驱动.用紫外功率计测量222nm辐照度,辐射功率由Keitz公式计算.灯的电功率则通过高压探头和电流互感器结合示波器测量得出.结果表明,KrCl*准分子灯在脉冲电源驱动下的最佳效率(11.4％)是正弦电源的2倍.
提齣瞭一種測量KrCl*準分子燈222nm輻射效率的輻射度學方法.KrC1*準分子燈為同軸結構,內管和外管的內,外徑分彆為14,16和37,40mm.燈中充有總氣壓為2×104 Pa的氯氣(Cl2)和氪氣(Kr),其中含0.5％的氯氣.KrCl*準分子燈用正絃和脈遲電源來驅動.用紫外功率計測量222nm輻照度,輻射功率由Keitz公式計算.燈的電功率則通過高壓探頭和電流互感器結閤示波器測量得齣.結果錶明,KrCl*準分子燈在脈遲電源驅動下的最佳效率(11.4％)是正絃電源的2倍.
제출료일충측량KrCl*준분자등222nm복사효솔적복사도학방법.KrC1*준분자등위동축결구,내관화외관적내,외경분별위14,16화37,40mm.등중충유총기압위2×104 Pa적록기(Cl2)화극기(Kr),기중함0.5％적록기.KrCl*준분자등용정현화맥충전원래구동.용자외공솔계측량222nm복조도,복사공솔유Keitz공식계산.등적전공솔칙통과고압탐두화전류호감기결합시파기측량득출.결과표명,KrCl*준분자등재맥충전원구동하적최가효솔(11.4％)시정현전원적2배.
