真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2012年
3期
27-32
,共6页
徐云辉%朱小红%李娜%王旭%何豫生
徐雲輝%硃小紅%李娜%王旭%何豫生
서운휘%주소홍%리나%왕욱%하예생
铁电/介电薄膜%钛酸锶钡%铌酸锌铋%可调谐微波器件
鐵電/介電薄膜%鈦痠鍶鋇%鈮痠鋅鉍%可調諧微波器件
철전/개전박막%태산송패%니산자필%가조해미파기건
铁电钛酸锶钡BaxSrt -xTiO3(BST)是一种拥有十分优越铁电/介电性能的材料,在可调谐微波器件方面具有很好的应用前景.本文概括介绍了BST薄膜的研究意义、基本结构、薄膜的制备方法,并针对可调谐微波器件应用需求,详细探讨了通过掺杂、组分梯度变化、纳米铁电多层薄膜以及将铁电BST与新型介电Bi2O3-ZnO-Nb2O5 (BZN)薄膜相结合等对铁电薄膜性能进行优化的手段,最后对该领域的前沿问题从材料研究层面作了小结与展望.
鐵電鈦痠鍶鋇BaxSrt -xTiO3(BST)是一種擁有十分優越鐵電/介電性能的材料,在可調諧微波器件方麵具有很好的應用前景.本文概括介紹瞭BST薄膜的研究意義、基本結構、薄膜的製備方法,併針對可調諧微波器件應用需求,詳細探討瞭通過摻雜、組分梯度變化、納米鐵電多層薄膜以及將鐵電BST與新型介電Bi2O3-ZnO-Nb2O5 (BZN)薄膜相結閤等對鐵電薄膜性能進行優化的手段,最後對該領域的前沿問題從材料研究層麵作瞭小結與展望.
철전태산송패BaxSrt -xTiO3(BST)시일충옹유십분우월철전/개전성능적재료,재가조해미파기건방면구유흔호적응용전경.본문개괄개소료BST박막적연구의의、기본결구、박막적제비방법,병침대가조해미파기건응용수구,상세탐토료통과참잡、조분제도변화、납미철전다층박막이급장철전BST여신형개전Bi2O3-ZnO-Nb2O5 (BZN)박막상결합등대철전박막성능진행우화적수단,최후대해영역적전연문제종재료연구층면작료소결여전망.
