仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2004年
3期
362-367
,共6页
董涛%杨朝初%Paul Bernhard%侯丽雅
董濤%楊朝初%Paul Bernhard%侯麗雅
동도%양조초%Paul Bernhard%후려아
微成型%立体光刻%快速成型
微成型%立體光刻%快速成型
미성형%입체광각%쾌속성형
介绍了一种具有更高加工分辨率且可直接成型3维复杂微系统的一次曝光型微立体光刻成型样机MicroSLer,及其配套专用光敏树脂Micro SL5220.重点给出了MicroSLer中经薄膜晶体管阵列编址的液晶显示光阀表盘,也即可控透光模板的构造、性能及其对MicroSLer层面加工分辨率和截面曝光尺寸的影响.对比了MicroSLer的国产配套光敏树脂Micro SL5220与国外同类产品DSM7110型光敏树脂的各项技术指标.为证明一次曝光型微立体光刻工艺在成型3维复杂微结构时的优越性,给出了经MicroSLer成型出的微机械部件、微型件浇铸模、微流体系统部件等实物的扫描电子显微照片及相关的加工参数.探讨了现阶段的传统立体光刻工艺、小光斑立体光刻工艺及微立体光刻工艺在加工分辨率方面的差异,分别指出了影响这3种立体光刻成型分辨率的关键因素.
介紹瞭一種具有更高加工分辨率且可直接成型3維複雜微繫統的一次曝光型微立體光刻成型樣機MicroSLer,及其配套專用光敏樹脂Micro SL5220.重點給齣瞭MicroSLer中經薄膜晶體管陣列編阯的液晶顯示光閥錶盤,也即可控透光模闆的構造、性能及其對MicroSLer層麵加工分辨率和截麵曝光呎吋的影響.對比瞭MicroSLer的國產配套光敏樹脂Micro SL5220與國外同類產品DSM7110型光敏樹脂的各項技術指標.為證明一次曝光型微立體光刻工藝在成型3維複雜微結構時的優越性,給齣瞭經MicroSLer成型齣的微機械部件、微型件澆鑄模、微流體繫統部件等實物的掃描電子顯微照片及相關的加工參數.探討瞭現階段的傳統立體光刻工藝、小光斑立體光刻工藝及微立體光刻工藝在加工分辨率方麵的差異,分彆指齣瞭影響這3種立體光刻成型分辨率的關鍵因素.
개소료일충구유경고가공분변솔차가직접성형3유복잡미계통적일차폭광형미입체광각성형양궤MicroSLer,급기배투전용광민수지Micro SL5220.중점급출료MicroSLer중경박막정체관진렬편지적액정현시광벌표반,야즉가공투광모판적구조、성능급기대MicroSLer층면가공분변솔화절면폭광척촌적영향.대비료MicroSLer적국산배투광민수지Micro SL5220여국외동류산품DSM7110형광민수지적각항기술지표.위증명일차폭광형미입체광각공예재성형3유복잡미결구시적우월성,급출료경MicroSLer성형출적미궤계부건、미형건요주모、미류체계통부건등실물적소묘전자현미조편급상관적가공삼수.탐토료현계단적전통입체광각공예、소광반입체광각공예급미입체광각공예재가공분변솔방면적차이,분별지출료영향저3충입체광각성형분변솔적관건인소.
