材料开发与应用
材料開髮與應用
재료개발여응용
DEVELOPMENT AND APPLICATION OF MATERIALS
2005年
2期
23-27
,共5页
姚舜晖%林静波%江仲德%高文显%苏演良%刘醇鸿%刘伟彬
姚舜暉%林靜波%江仲德%高文顯%囌縯良%劉醇鴻%劉偉彬
요순휘%림정파%강중덕%고문현%소연량%류순홍%류위빈
碳氮化锆%膜%磨耗
碳氮化鋯%膜%磨耗
탄담화고%막%마모
许多年来,氮化钛镀膜的使用相当普遍.在周期表中与钛属于同一周期的另一过渡元素锆,亦是一引人注目的材料.已有许多关于氮化锆的研究,然而,对碳氮化锆的了解仍然有限.本研究使用非平衡磁控溅镀系统制备了ZrCN镀膜,探讨了C2H2/N2 反应气体流量比例、以及添加Ti、W等对ZrCN硬度和磨耗性能的影响.结果显示,在总反应气体流量固定不变状态下,ZrCN硬度及磨润性能随反应气体流量比例降低而增加;添加Ti和W会显著增加ZrCN的硬度和磨耗性能,添加Ti的效果比添加W的佳.不论有无添加物,ZrCN的磨耗性能皆明显比TiN的佳.
許多年來,氮化鈦鍍膜的使用相噹普遍.在週期錶中與鈦屬于同一週期的另一過渡元素鋯,亦是一引人註目的材料.已有許多關于氮化鋯的研究,然而,對碳氮化鋯的瞭解仍然有限.本研究使用非平衡磁控濺鍍繫統製備瞭ZrCN鍍膜,探討瞭C2H2/N2 反應氣體流量比例、以及添加Ti、W等對ZrCN硬度和磨耗性能的影響.結果顯示,在總反應氣體流量固定不變狀態下,ZrCN硬度及磨潤性能隨反應氣體流量比例降低而增加;添加Ti和W會顯著增加ZrCN的硬度和磨耗性能,添加Ti的效果比添加W的佳.不論有無添加物,ZrCN的磨耗性能皆明顯比TiN的佳.
허다년래,담화태도막적사용상당보편.재주기표중여태속우동일주기적령일과도원소고,역시일인인주목적재료.이유허다관우담화고적연구,연이,대탄담화고적료해잉연유한.본연구사용비평형자공천도계통제비료ZrCN도막,탐토료C2H2/N2 반응기체류량비례、이급첨가Ti、W등대ZrCN경도화마모성능적영향.결과현시,재총반응기체류량고정불변상태하,ZrCN경도급마윤성능수반응기체류량비례강저이증가;첨가Ti화W회현저증가ZrCN적경도화마모성능,첨가Ti적효과비첨가W적가.불론유무첨가물,ZrCN적마모성능개명현비TiN적가.
