光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2009年
1期
1-7
,共7页
胡自强%凌宁%潘君骅%饶长辉%姜文汉
鬍自彊%凌寧%潘君驊%饒長輝%薑文漢
호자강%릉저%반군화%요장휘%강문한
非球面镜%非球面能动抛光盘%迟滞效应%径向基神经网络
非毬麵鏡%非毬麵能動拋光盤%遲滯效應%徑嚮基神經網絡
비구면경%비구면능동포광반%지체효응%경향기신경망락
基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘,能够在PZT驱动器的作用下改变面形,用于中小口径非球面镜加工.研制了一个口径100 mm、含19个PZT驱动器的非球面能动抛光盘,用于口径为350 mm、k＝-1.112 155、顶点半径为840 mm的双曲面镜的加工实验.为研究PZT压电陶瓷驱动器迟滞效应对非球面能动抛光盘输出面形的影响,实测各PZT压电陶瓷驱动器的电压位移特性曲线,用基于径向基函数的神经网络算法建立了各PZT压电陶瓷驱动器位移输出特性的数学模型并实施补偿,实测了各PZT压电陶瓷驱动器迟滞补偿前后的位移输出值.最后,利用有限元分析方法,得到了迟滞补偿前后非球面能动抛光盘的输出面形RMS以及剩余残差RMS分别为1.910 μm和0.342 μm.通过补偿各PZT压电陶瓷驱动器的迟滞效应,非球面能动抛光盘输出面形精度得到了提高,剩余残差RMS减少了82%.
基于PZT壓電陶瓷驅動器的非毬麵能動拋光盤,能夠在PZT驅動器的作用下改變麵形,用于中小口徑非毬麵鏡加工.研製瞭一箇口徑100 mm、含19箇PZT驅動器的非毬麵能動拋光盤,用于口徑為350 mm、k＝-1.112 155、頂點半徑為840 mm的雙麯麵鏡的加工實驗.為研究PZT壓電陶瓷驅動器遲滯效應對非毬麵能動拋光盤輸齣麵形的影響,實測各PZT壓電陶瓷驅動器的電壓位移特性麯線,用基于徑嚮基函數的神經網絡算法建立瞭各PZT壓電陶瓷驅動器位移輸齣特性的數學模型併實施補償,實測瞭各PZT壓電陶瓷驅動器遲滯補償前後的位移輸齣值.最後,利用有限元分析方法,得到瞭遲滯補償前後非毬麵能動拋光盤的輸齣麵形RMS以及剩餘殘差RMS分彆為1.910 μm和0.342 μm.通過補償各PZT壓電陶瓷驅動器的遲滯效應,非毬麵能動拋光盤輸齣麵形精度得到瞭提高,剩餘殘差RMS減少瞭82%.
기우PZT압전도자구동기적비구면능동포광반,능구재PZT구동기적작용하개변면형,용우중소구경비구면경가공.연제료일개구경100 mm、함19개PZT구동기적비구면능동포광반,용우구경위350 mm、k＝-1.112 155、정점반경위840 mm적쌍곡면경적가공실험.위연구PZT압전도자구동기지체효응대비구면능동포광반수출면형적영향,실측각PZT압전도자구동기적전압위이특성곡선,용기우경향기함수적신경망락산법건립료각PZT압전도자구동기위이수출특성적수학모형병실시보상,실측료각PZT압전도자구동기지체보상전후적위이수출치.최후,이용유한원분석방법,득도료지체보상전후비구면능동포광반적수출면형RMS이급잉여잔차RMS분별위1.910 μm화0.342 μm.통과보상각PZT압전도자구동기적지체효응,비구면능동포광반수출면형정도득도료제고,잉여잔차RMS감소료82%.
