中南民族大学学报（自然科学版）
中南民族大學學報（自然科學版）
중남민족대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTH-CENTRAL UNIVERSITY FOR NATIONALITIES(NATURAL SCIENCE EDITION)
2011年
1期
64-69
,共6页
钟志有%顾锦华%何翔%孙奉娄%陈首部
鐘誌有%顧錦華%何翔%孫奉婁%陳首部
종지유%고금화%하상%손봉루%진수부
有机太阳能电池%电极%光电性能
有機太暘能電池%電極%光電性能
유궤태양능전지%전겁%광전성능
以氧化锌铝陶瓷靶为溅射源,采用射频磁控溅射方法制备了铝掺杂氧化锌(AZO)无铟透明导电薄膜,通过X射线衍射仪,分光光度计和四探针仪等测试分析.研究了基板温度对薄膜晶体结构、力学和光电性能的影响.结果表明:所制备的AZO薄膜均为六角纤锌矿结构.并具有(002)择优取向,其晶体结构、残余应力、方块电阻、光学带隙以及优良指数等都与基板温度相关,当温度为400℃时,AZO薄膜的优良指数最大(0.40 Ω-1),具有最好的光电综合性能.
以氧化鋅鋁陶瓷靶為濺射源,採用射頻磁控濺射方法製備瞭鋁摻雜氧化鋅(AZO)無銦透明導電薄膜,通過X射線衍射儀,分光光度計和四探針儀等測試分析.研究瞭基闆溫度對薄膜晶體結構、力學和光電性能的影響.結果錶明:所製備的AZO薄膜均為六角纖鋅礦結構.併具有(002)擇優取嚮,其晶體結構、殘餘應力、方塊電阻、光學帶隙以及優良指數等都與基闆溫度相關,噹溫度為400℃時,AZO薄膜的優良指數最大(0.40 Ω-1),具有最好的光電綜閤性能.
이양화자려도자파위천사원,채용사빈자공천사방법제비료려참잡양화자(AZO)무인투명도전박막,통과X사선연사의,분광광도계화사탐침의등측시분석.연구료기판온도대박막정체결구、역학화광전성능적영향.결과표명:소제비적AZO박막균위륙각섬자광결구.병구유(002)택우취향,기정체결구、잔여응력、방괴전조、광학대극이급우량지수등도여기판온도상관,당온도위400℃시,AZO박막적우량지수최대(0.40 Ω-1),구유최호적광전종합성능.
