计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2011年
4期
381-384
,共4页
刘文德%陈赤%陈熙%于靖%郑春弟%王煜
劉文德%陳赤%陳熙%于靖%鄭春弟%王煜
류문덕%진적%진희%우정%정춘제%왕욱
计量学%光刻胶%曝光%光学常数%光谱椭偏法
計量學%光刻膠%曝光%光學常數%光譜橢偏法
계량학%광각효%폭광%광학상수%광보타편법
利用相调制型光谱椭偏仪研究了光刻胶光学常数的测量方法,针对测量过程中光刻胶曝光控制优化了测量方案和仪器参数.对常见的S9912正型光刻胶,给出了曝光前后275～650 nm波段的光学常数.并采用动态椭偏法测量了所需波长下曝光前的光学常数.实验结果表明:该测量方法适用于光刻胶在紫外-可见-红外宽波段的光学性质研究,在光刻模拟、新型光刻胶材料研制及其光学性质表征等领域有重要实用价值.
利用相調製型光譜橢偏儀研究瞭光刻膠光學常數的測量方法,針對測量過程中光刻膠曝光控製優化瞭測量方案和儀器參數.對常見的S9912正型光刻膠,給齣瞭曝光前後275～650 nm波段的光學常數.併採用動態橢偏法測量瞭所需波長下曝光前的光學常數.實驗結果錶明:該測量方法適用于光刻膠在紫外-可見-紅外寬波段的光學性質研究,在光刻模擬、新型光刻膠材料研製及其光學性質錶徵等領域有重要實用價值.
이용상조제형광보타편의연구료광각효광학상수적측량방법,침대측량과정중광각효폭광공제우화료측량방안화의기삼수.대상견적S9912정형광각효,급출료폭광전후275～650 nm파단적광학상수.병채용동태타편법측량료소수파장하폭광전적광학상수.실험결과표명:해측량방법괄용우광각효재자외-가견-홍외관파단적광학성질연구,재광각모의、신형광각효재료연제급기광학성질표정등영역유중요실용개치.
