传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
10期
115-117
,共3页
赵章琰%李勇滔%夏洋%李超波%李力军%李瑞麟
趙章琰%李勇滔%夏洋%李超波%李力軍%李瑞麟
조장염%리용도%하양%리초파%리력군%리서린
微弱电流%隔离测量%自动量程
微弱電流%隔離測量%自動量程
미약전류%격리측량%자동량정
在半导体测试中,需要测量μA～pA级的微弱电流,而且测量时检流计有多种可能的接入方式.为适应电流测量范围并实现接入方式的灵活性,设计了一种微弱电流检测模块,它基于低偏置电流的互阻放大器,由单片机实现A/D转换和自动量程选择,采用信号与电源分别隔离的方式实现可变的接入方式,并采取了多项措施提高精度、保护模块.该模块实现了10 pA的分辨能力和0.1％的量程内积分非线性,已经达到半导体测试设备中电流检测范围和精度的要求,并有望运用于光电测量、核电子测量等其他微弱电流检测领域.
在半導體測試中,需要測量μA～pA級的微弱電流,而且測量時檢流計有多種可能的接入方式.為適應電流測量範圍併實現接入方式的靈活性,設計瞭一種微弱電流檢測模塊,它基于低偏置電流的互阻放大器,由單片機實現A/D轉換和自動量程選擇,採用信號與電源分彆隔離的方式實現可變的接入方式,併採取瞭多項措施提高精度、保護模塊.該模塊實現瞭10 pA的分辨能力和0.1％的量程內積分非線性,已經達到半導體測試設備中電流檢測範圍和精度的要求,併有望運用于光電測量、覈電子測量等其他微弱電流檢測領域.
재반도체측시중,수요측량μA～pA급적미약전류,이차측량시검류계유다충가능적접입방식.위괄응전류측량범위병실현접입방식적령활성,설계료일충미약전류검측모괴,타기우저편치전류적호조방대기,유단편궤실현A/D전환화자동량정선택,채용신호여전원분별격리적방식실현가변적접입방식,병채취료다항조시제고정도、보호모괴.해모괴실현료10 pA적분변능력화0.1％적량정내적분비선성,이경체도반도체측시설비중전류검측범위화정도적요구,병유망운용우광전측량、핵전자측량등기타미약전류검측영역.
