实验室科学
實驗室科學
실험실과학
LABORATORY SCIENCE
2012年
3期
67-69
,共3页
薄膜%脉冲激光沉积%创新开放实验%教学改革
薄膜%脈遲激光沉積%創新開放實驗%教學改革
박막%맥충격광침적%창신개방실험%교학개혁
利用大学生创新开放实验平台,设计了脉冲激光沉积薄膜实验.通过研究制备工艺对薄膜质量的影响,测量了最佳制备工艺条件下TiN薄膜的结构、表面形貌和光学性能.实验激起了学生的科学研究兴趣,对培养学生的创新意识和实践能力具有重大意义.
利用大學生創新開放實驗平檯,設計瞭脈遲激光沉積薄膜實驗.通過研究製備工藝對薄膜質量的影響,測量瞭最佳製備工藝條件下TiN薄膜的結構、錶麵形貌和光學性能.實驗激起瞭學生的科學研究興趣,對培養學生的創新意識和實踐能力具有重大意義.
이용대학생창신개방실험평태,설계료맥충격광침적박막실험.통과연구제비공예대박막질량적영향,측량료최가제비공예조건하TiN박막적결구、표면형모화광학성능.실험격기료학생적과학연구흥취,대배양학생적창신의식화실천능력구유중대의의.
