计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2012年
4期
321-325
,共5页
米曾真%谢志江%袁晓东%刘长春%徐旭%楚红雨
米曾真%謝誌江%袁曉東%劉長春%徐旭%楚紅雨
미증진%사지강%원효동%류장춘%서욱%초홍우
计量学%精密光学元件%暗场成像%图像处理%激光惯性约束聚变%线阵CCD%三维平移台
計量學%精密光學元件%暗場成像%圖像處理%激光慣性約束聚變%線陣CCD%三維平移檯
계량학%정밀광학원건%암장성상%도상처리%격광관성약속취변%선진CCD%삼유평이태
针对精密光学元件表面缺陷检测效率低、大口径元件不便于检测问题,设计了一种应用于大型激光装置的大口径光学元件缺陷检测装置.通过强光手电筒、LED灯及高亮度卤素灯3种光源对40 mm×40 mm的K9样片暗场成像对比实验,得知光照强度最大的卤素灯光源检测效果最佳.研究了基于线阵CCD扫描的三维电控平移台的运动机理,确保高精度图像的采集.在此基础上,分析了图像区域定位、二值化处理、缺陷的检测等关键技术,实现了元件的高精度、实时在线检测.
針對精密光學元件錶麵缺陷檢測效率低、大口徑元件不便于檢測問題,設計瞭一種應用于大型激光裝置的大口徑光學元件缺陷檢測裝置.通過彊光手電筒、LED燈及高亮度滷素燈3種光源對40 mm×40 mm的K9樣片暗場成像對比實驗,得知光照彊度最大的滷素燈光源檢測效果最佳.研究瞭基于線陣CCD掃描的三維電控平移檯的運動機理,確保高精度圖像的採集.在此基礎上,分析瞭圖像區域定位、二值化處理、缺陷的檢測等關鍵技術,實現瞭元件的高精度、實時在線檢測.
침대정밀광학원건표면결함검측효솔저、대구경원건불편우검측문제,설계료일충응용우대형격광장치적대구경광학원건결함검측장치.통과강광수전통、LED등급고량도서소등3충광원대40 mm×40 mm적K9양편암장성상대비실험,득지광조강도최대적서소등광원검측효과최가.연구료기우선진CCD소묘적삼유전공평이태적운동궤리,학보고정도도상적채집.재차기출상,분석료도상구역정위、이치화처리、결함적검측등관건기술,실현료원건적고정도、실시재선검측.
