真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2002年
2期
135-138
,共4页
场发射显示器%消气剂%漏率%工作寿命
場髮射顯示器%消氣劑%漏率%工作壽命
장발사현시기%소기제%루솔%공작수명
在场发射显示器(FED)中使用消气剂,是维持FED内部真空度的最主要的手段,对延长FED的工作寿命起着重要作用.本文首先从抽气平衡方程推导得到了检验FED漏率是否合格的判别公式,并从此判别公式出发,对真空环境和FED工作寿命之间的关系进行了计算.文中提出了一种新型的器件封装结构的方案,实现了蒸散型和非蒸散型消气剂(NEG)的同时使用,对延长FED,特别是大屏幕FED的工作寿命,起到了有益的作用.
在場髮射顯示器(FED)中使用消氣劑,是維持FED內部真空度的最主要的手段,對延長FED的工作壽命起著重要作用.本文首先從抽氣平衡方程推導得到瞭檢驗FED漏率是否閤格的判彆公式,併從此判彆公式齣髮,對真空環境和FED工作壽命之間的關繫進行瞭計算.文中提齣瞭一種新型的器件封裝結構的方案,實現瞭蒸散型和非蒸散型消氣劑(NEG)的同時使用,對延長FED,特彆是大屏幕FED的工作壽命,起到瞭有益的作用.
재장발사현시기(FED)중사용소기제,시유지FED내부진공도적최주요적수단,대연장FED적공작수명기착중요작용.본문수선종추기평형방정추도득도료검험FED루솔시부합격적판별공식,병종차판별공식출발,대진공배경화FED공작수명지간적관계진행료계산.문중제출료일충신형적기건봉장결구적방안,실현료증산형화비증산형소기제(NEG)적동시사용,대연장FED,특별시대병막FED적공작수명,기도료유익적작용.