物理学报
物理學報
물이학보
2007年
3期
1725-1729
,共5页
展晓元%张跃%齐俊杰%顾有松%郑小兰
展曉元%張躍%齊俊傑%顧有鬆%鄭小蘭
전효원%장약%제준걸%고유송%정소란
磁性薄膜%纳米晶%磁性能%热处理
磁性薄膜%納米晶%磁性能%熱處理
자성박막%납미정%자성능%열처리
采用磁控溅射方法在自然氧化的单晶Si(100)衬底上制备了纳米结构的Fe53Pt47薄膜,并研究热处理后薄膜中的磁相互作用、晶粒尺寸与热处理温度的关系.经400℃热处理后,FePt薄膜中有明显的面心四方相形成,薄膜表现出硬磁性,晶粒尺度在20nm,薄膜内部存在软硬磁交换耦合作用;随着热处理温度升高,硬磁相含量增加.同时由于FePt薄膜的晶粒长大,部分软硬磁晶粒之间的交换耦合作用失效;600℃热处理后,FePt的面心立方相已经完全转变为面心四方相,薄膜矫顽力由硬磁相之间的静磁作用贡献.
採用磁控濺射方法在自然氧化的單晶Si(100)襯底上製備瞭納米結構的Fe53Pt47薄膜,併研究熱處理後薄膜中的磁相互作用、晶粒呎吋與熱處理溫度的關繫.經400℃熱處理後,FePt薄膜中有明顯的麵心四方相形成,薄膜錶現齣硬磁性,晶粒呎度在20nm,薄膜內部存在軟硬磁交換耦閤作用;隨著熱處理溫度升高,硬磁相含量增加.同時由于FePt薄膜的晶粒長大,部分軟硬磁晶粒之間的交換耦閤作用失效;600℃熱處理後,FePt的麵心立方相已經完全轉變為麵心四方相,薄膜矯頑力由硬磁相之間的靜磁作用貢獻.
채용자공천사방법재자연양화적단정Si(100)츤저상제비료납미결구적Fe53Pt47박막,병연구열처리후박막중적자상호작용、정립척촌여열처리온도적관계.경400℃열처리후,FePt박막중유명현적면심사방상형성,박막표현출경자성,정립척도재20nm,박막내부존재연경자교환우합작용;수착열처리온도승고,경자상함량증가.동시유우FePt박막적정립장대,부분연경자정립지간적교환우합작용실효;600℃열처리후,FePt적면심립방상이경완전전변위면심사방상,박막교완력유경자상지간적정자작용공헌.
