机械工程材料
機械工程材料
궤계공정재료
MATERIALS FOR MECHANICAL ENGINEERING
2007年
8期
26-28,63
,共4页
付廷波%程晓农%严学华%刘红飞
付廷波%程曉農%嚴學華%劉紅飛
부정파%정효농%엄학화%류홍비
磁控溅射%ZrW2O8薄膜%热膨胀系数%介电性能%透光率
磁控濺射%ZrW2O8薄膜%熱膨脹繫數%介電性能%透光率
자공천사%ZrW2O8박막%열팽창계수%개전성능%투광솔
利用射频磁控溅射法在单晶硅片和石英基片上沉积了非晶态ZrW2O8薄膜,对不同温度下热处理的薄膜进行了XRD分析;用扫描电镜观察了薄膜的表面形貌,用阻抗分析仪和分光光度计分别研究了薄膜的介电性能和透光性能.结果表明:非晶态薄膜在740℃热处理3 min可以制得具有较好负热膨胀特性的ZrW2O8薄膜,其热膨胀系数为-2.54×10-5 /℃;介电常数和介电损耗均随着频率的增加而减小;在可见光范围内薄膜的透光率达75%.
利用射頻磁控濺射法在單晶硅片和石英基片上沉積瞭非晶態ZrW2O8薄膜,對不同溫度下熱處理的薄膜進行瞭XRD分析;用掃描電鏡觀察瞭薄膜的錶麵形貌,用阻抗分析儀和分光光度計分彆研究瞭薄膜的介電性能和透光性能.結果錶明:非晶態薄膜在740℃熱處理3 min可以製得具有較好負熱膨脹特性的ZrW2O8薄膜,其熱膨脹繫數為-2.54×10-5 /℃;介電常數和介電損耗均隨著頻率的增加而減小;在可見光範圍內薄膜的透光率達75%.
이용사빈자공천사법재단정규편화석영기편상침적료비정태ZrW2O8박막,대불동온도하열처리적박막진행료XRD분석;용소묘전경관찰료박막적표면형모,용조항분석의화분광광도계분별연구료박막적개전성능화투광성능.결과표명:비정태박막재740℃열처리3 min가이제득구유교호부열팽창특성적ZrW2O8박막,기열팽창계수위-2.54×10-5 /℃;개전상수화개전손모균수착빈솔적증가이감소;재가견광범위내박막적투광솔체75%.
