化工新型材料
化工新型材料
화공신형재료
NEW CHEMICAL MATERIALS
2008年
6期
72-73,89
,共3页
Mg2Ni%薄膜%磁控溅射%组织结构
Mg2Ni%薄膜%磁控濺射%組織結構
Mg2Ni%박막%자공천사%조직결구
采用磁控溅射法制备了Mg2Ni贮氢薄膜,考察了不同基体及基体温度对薄膜组织结构的影响.实验结果表明,Mg2Ni薄膜的表面形貌与衬底类型及衬底温度有关.玻璃片上溅射沉积的膜的表面形貌表面较为平整,而未抛光的Ni片上沉积的薄膜的生长明显存在着沿划痕方向生长的趋势,存在择优取向.另外,当基体温度升高时,薄膜的晶粒尺寸增大.
採用磁控濺射法製備瞭Mg2Ni貯氫薄膜,攷察瞭不同基體及基體溫度對薄膜組織結構的影響.實驗結果錶明,Mg2Ni薄膜的錶麵形貌與襯底類型及襯底溫度有關.玻璃片上濺射沉積的膜的錶麵形貌錶麵較為平整,而未拋光的Ni片上沉積的薄膜的生長明顯存在著沿劃痕方嚮生長的趨勢,存在擇優取嚮.另外,噹基體溫度升高時,薄膜的晶粒呎吋增大.
채용자공천사법제비료Mg2Ni저경박막,고찰료불동기체급기체온도대박막조직결구적영향.실험결과표명,Mg2Ni박막적표면형모여츤저류형급츤저온도유관.파리편상천사침적적막적표면형모표면교위평정,이미포광적Ni편상침적적박막적생장명현존재착연화흔방향생장적추세,존재택우취향.령외,당기체온도승고시,박막적정립척촌증대.
