物理学报
物理學報
물이학보
2008年
8期
5212-5216
,共5页
Wang Jing-Wei%边继明%Sun Jing-Chang%梁红伟%Zhao Jian-Ze%杜国同
Wang Jing-Wei%邊繼明%Sun Jing-Chang%樑紅偉%Zhao Jian-Ze%杜國同
Wang Jing-Wei%변계명%Sun Jing-Chang%량홍위%Zhao Jian-Ze%두국동
ZnO:Ag薄膜%P型掺杂%超声喷雾热分解%霍尔效应
ZnO:Ag薄膜%P型摻雜%超聲噴霧熱分解%霍爾效應
ZnO:Ag박막%P형참잡%초성분무열분해%곽이효응
采用超声喷雾热分解法在石英衬底上以醋酸锌水溶液为前驱体,以硝酸银水溶液为Ag掺杂源生长了Ag掺杂ZnO(ZnO:Ag)薄膜.研究了衬底温度对所得ZnO:Ag薄膜的晶体结构、电学和光学性质的影响规律.所得ZnO:Ag薄膜结构良好,在室温光致发光谱中检测到很强的近带边紫外发光峰,透射光谱中观测到非常陡峭的紫外吸收截止边和较高的可见光区透过率,表明薄膜具有较高的晶体质量与较好的光学特性.霍尔效应测试表明,在500℃下获得了P型导电的ZnO:Ag薄膜,载流子浓度为5.30×1015cm-3,迁移率为6.61 cm2·V-1s-1.
採用超聲噴霧熱分解法在石英襯底上以醋痠鋅水溶液為前驅體,以硝痠銀水溶液為Ag摻雜源生長瞭Ag摻雜ZnO(ZnO:Ag)薄膜.研究瞭襯底溫度對所得ZnO:Ag薄膜的晶體結構、電學和光學性質的影響規律.所得ZnO:Ag薄膜結構良好,在室溫光緻髮光譜中檢測到很彊的近帶邊紫外髮光峰,透射光譜中觀測到非常陡峭的紫外吸收截止邊和較高的可見光區透過率,錶明薄膜具有較高的晶體質量與較好的光學特性.霍爾效應測試錶明,在500℃下穫得瞭P型導電的ZnO:Ag薄膜,載流子濃度為5.30×1015cm-3,遷移率為6.61 cm2·V-1s-1.
채용초성분무열분해법재석영츤저상이작산자수용액위전구체,이초산은수용액위Ag참잡원생장료Ag참잡ZnO(ZnO:Ag)박막.연구료츤저온도대소득ZnO:Ag박막적정체결구、전학화광학성질적영향규률.소득ZnO:Ag박막결구량호,재실온광치발광보중검측도흔강적근대변자외발광봉,투사광보중관측도비상두초적자외흡수절지변화교고적가견광구투과솔,표명박막구유교고적정체질량여교호적광학특성.곽이효응측시표명,재500℃하획득료P형도전적ZnO:Ag박막,재류자농도위5.30×1015cm-3,천이솔위6.61 cm2·V-1s-1.
