功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
12期
2045-2048
,共4页
陈智辉%俞重远%芦鹏飞%刘玉敏%王永钢
陳智輝%俞重遠%蘆鵬飛%劉玉敏%王永鋼
진지휘%유중원%호붕비%류옥민%왕영강
分子动力学模拟%薄膜生长%Buckingham势%GaN
分子動力學模擬%薄膜生長%Buckingham勢%GaN
분자동역학모의%박막생장%Buckingham세%GaN
采用分子动力学模拟方法,应用Buckingham经验势模型,模拟纤锌矿相GaN的薄膜晶格生长.研究了GaN薄膜生长的早期阶段的形貌特点、生长规律、表面结构及动力学特性.模拟发现,N原子与Ga原子按照晶格特征吸附在衬底上,作层状分布趋势并且薄膜层从下到上晶态特征逐渐减弱.观察每层沉积原子数、空位比、沉积原子团簇质心高度与沉积原子均方位移随时间的变化规律,发现了随着时间步数增加,原子团簇逐渐达到稳定,在5000步时前3层都达到了较稳定状态,且N原子比Ga原子能更快地找到平衡位置.
採用分子動力學模擬方法,應用Buckingham經驗勢模型,模擬纖鋅礦相GaN的薄膜晶格生長.研究瞭GaN薄膜生長的早期階段的形貌特點、生長規律、錶麵結構及動力學特性.模擬髮現,N原子與Ga原子按照晶格特徵吸附在襯底上,作層狀分佈趨勢併且薄膜層從下到上晶態特徵逐漸減弱.觀察每層沉積原子數、空位比、沉積原子糰簇質心高度與沉積原子均方位移隨時間的變化規律,髮現瞭隨著時間步數增加,原子糰簇逐漸達到穩定,在5000步時前3層都達到瞭較穩定狀態,且N原子比Ga原子能更快地找到平衡位置.
채용분자동역학모의방법,응용Buckingham경험세모형,모의섬자광상GaN적박막정격생장.연구료GaN박막생장적조기계단적형모특점、생장규률、표면결구급동역학특성.모의발현,N원자여Ga원자안조정격특정흡부재츤저상,작층상분포추세병차박막층종하도상정태특정축점감약.관찰매층침적원자수、공위비、침적원자단족질심고도여침적원자균방위이수시간적변화규률,발현료수착시간보수증가,원자단족축점체도은정,재5000보시전3층도체도료교은정상태,차N원자비Ga원자능경쾌지조도평형위치.
