辽宁师范大学学报（自然科学版）
遼寧師範大學學報（自然科學版）
료녕사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF LIAONING NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2011年
1期
43-46
,共4页
王玉新%郑亚茹%王晓玉%王晓雪%董李娜%宋哲
王玉新%鄭亞茹%王曉玉%王曉雪%董李娜%宋哲
왕옥신%정아여%왕효옥%왕효설%동리나%송철
射频磁控溅射%硼碳氮薄膜%氮气分压比%光学带隙
射頻磁控濺射%硼碳氮薄膜%氮氣分壓比%光學帶隙
사빈자공천사%붕탄담박막%담기분압비%광학대극
采用射频磁控溅射方法以不同的氮气分压比(1/10～2/3)制备出一组硼碳氮薄膜.傅里叶变换红外光谱(FTIR)和X射线光电子能谱(XPS)测量发现样品的组成原子之间均实现了原子级化合.XPS测量结果表明,所有样品中的B、N原子比近似为1:1,其化学配比为BCx N(0.16＜x＜1.46).紫外/可见/近红外分光光度计用于测量样品的吸收光谱.由吸收谱线在低能区域(2.0～3.0 eV)的光吸收,利用关系作图法求出光学带隙Eopt范围为0.17～0.83 eV.氮气分压比对薄膜的组分和光学带隙有很大影响,其通过改变薄膜组分而影响光学带隙,并且碳原子数小的样品具有较宽的光学带隙.以氮气分压比为1/3条件下制备的样品中碳原子数最小,它的光学带隙最宽为0.83 eV.
採用射頻磁控濺射方法以不同的氮氣分壓比(1/10～2/3)製備齣一組硼碳氮薄膜.傅裏葉變換紅外光譜(FTIR)和X射線光電子能譜(XPS)測量髮現樣品的組成原子之間均實現瞭原子級化閤.XPS測量結果錶明,所有樣品中的B、N原子比近似為1:1,其化學配比為BCx N(0.16＜x＜1.46).紫外/可見/近紅外分光光度計用于測量樣品的吸收光譜.由吸收譜線在低能區域(2.0～3.0 eV)的光吸收,利用關繫作圖法求齣光學帶隙Eopt範圍為0.17～0.83 eV.氮氣分壓比對薄膜的組分和光學帶隙有很大影響,其通過改變薄膜組分而影響光學帶隙,併且碳原子數小的樣品具有較寬的光學帶隙.以氮氣分壓比為1/3條件下製備的樣品中碳原子數最小,它的光學帶隙最寬為0.83 eV.
채용사빈자공천사방법이불동적담기분압비(1/10～2/3)제비출일조붕탄담박막.부리협변환홍외광보(FTIR)화X사선광전자능보(XPS)측량발현양품적조성원자지간균실현료원자급화합.XPS측량결과표명,소유양품중적B、N원자비근사위1:1,기화학배비위BCx N(0.16＜x＜1.46).자외/가견/근홍외분광광도계용우측량양품적흡수광보.유흡수보선재저능구역(2.0～3.0 eV)적광흡수,이용관계작도법구출광학대극Eopt범위위0.17～0.83 eV.담기분압비대박막적조분화광학대극유흔대영향,기통과개변박막조분이영향광학대극,병차탄원자수소적양품구유교관적광학대극.이담기분압비위1/3조건하제비적양품중탄원자수최소,타적광학대극최관위0.83 eV.
