传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
2期
90-92,95
,共4页
张运奎%崔峰%万镇%刘武%张卫平
張運奎%崔峰%萬鎮%劉武%張衛平
장운규%최봉%만진%류무%장위평
微机电系统%微加速度计%差分电容%测控电路%标定
微機電繫統%微加速度計%差分電容%測控電路%標定
미궤전계통%미가속도계%차분전용%측공전로%표정
为了提高MEMS微加速度计的量程和抗过载能力,设计了基于UV-LIGA技术的非硅MEMS电容式微加速度计.针对该加速度计,设计了基于相敏解调的差分电容测控电路.检测通道主要由前置级电荷积分放大电路、带通滤波电路、相敏解调器、低通滤波以及电平转换电路组成,反馈通道由低通滤波和加法电路组成.完成了微加速度计测控电路的调试和检测通道的标定实验,实验表明:检测通道的量程约为±6pF,灵敏度为89.3 mV/pF,线性度为2.59％,满足加速度计检测通道的要求.
為瞭提高MEMS微加速度計的量程和抗過載能力,設計瞭基于UV-LIGA技術的非硅MEMS電容式微加速度計.針對該加速度計,設計瞭基于相敏解調的差分電容測控電路.檢測通道主要由前置級電荷積分放大電路、帶通濾波電路、相敏解調器、低通濾波以及電平轉換電路組成,反饋通道由低通濾波和加法電路組成.完成瞭微加速度計測控電路的調試和檢測通道的標定實驗,實驗錶明:檢測通道的量程約為±6pF,靈敏度為89.3 mV/pF,線性度為2.59％,滿足加速度計檢測通道的要求.
위료제고MEMS미가속도계적량정화항과재능력,설계료기우UV-LIGA기술적비규MEMS전용식미가속도계.침대해가속도계,설계료기우상민해조적차분전용측공전로.검측통도주요유전치급전하적분방대전로、대통려파전로、상민해조기、저통려파이급전평전환전로조성,반궤통도유저통려파화가법전로조성.완성료미가속도계측공전로적조시화검측통도적표정실험,실험표명:검측통도적량정약위±6pF,령민도위89.3 mV/pF,선성도위2.59％,만족가속도계검측통도적요구.
