包装工程
包裝工程
포장공정
PACKAGING ENGINEERING
2006年
4期
56-58
,共3页
汤文杰%韩尔立%陈强%葛袁静
湯文傑%韓爾立%陳彊%葛袁靜
탕문걸%한이립%진강%갈원정
大气压DBD%SiOx%单体
大氣壓DBD%SiOx%單體
대기압DBD%SiOx%단체
在大气压下,利用工作在16kHz的介质阻挡放电(DBD)等离子枪,以氩气为工作气体,分别用四甲基硅氧烷(TEOS)、六甲基硅氧烷(HMDSO)和八甲基环四硅氧烷(D4)为单体,通过改变载气流量、等离子体放电功率等研究聚合SiOx薄膜的结构性能影响.采用红外光谱(FTIR)分析所沉积SiOx薄膜的结构,通过接触角测试了解其表面亲/疏水性能.
在大氣壓下,利用工作在16kHz的介質阻擋放電(DBD)等離子鎗,以氬氣為工作氣體,分彆用四甲基硅氧烷(TEOS)、六甲基硅氧烷(HMDSO)和八甲基環四硅氧烷(D4)為單體,通過改變載氣流量、等離子體放電功率等研究聚閤SiOx薄膜的結構性能影響.採用紅外光譜(FTIR)分析所沉積SiOx薄膜的結構,通過接觸角測試瞭解其錶麵親/疏水性能.
재대기압하,이용공작재16kHz적개질조당방전(DBD)등리자창,이아기위공작기체,분별용사갑기규양완(TEOS)、륙갑기규양완(HMDSO)화팔갑기배사규양완(D4)위단체,통과개변재기류량、등리자체방전공솔등연구취합SiOx박막적결구성능영향.채용홍외광보(FTIR)분석소침적SiOx박막적결구,통과접촉각측시료해기표면친/소수성능.