真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
3期
208-212
,共5页
斯剑霄%王擎雷%吴海飞%张寒洁%吴惠桢%徐天宁%夏明龙
斯劍霄%王擎雷%吳海飛%張寒潔%吳惠楨%徐天寧%夏明龍
사검소%왕경뢰%오해비%장한길%오혜정%서천저%하명룡
化合物半导体%异质外延%氧化%XPS
化閤物半導體%異質外延%氧化%XPS
화합물반도체%이질외연%양화%XPS
用分子束外延方法在BaF2(111)衬底上生长了PbTe单晶薄膜,原子力显微镜(AFM)的表面形貌表征显示PbTe表面具有单原子层的平整性,并观察到由螺位错形成的螺旋台阶面.高分辨X射线衍射(HRXRD)测量得到PbTe(111)衍射峰的线宽＜100 arc sec,表明薄膜具有优良的晶体结构特性.然后将样品暴露于大气环境中3个月后,用X射线光电子谱(XPS)分析了PbTe表面的氧化机理,发现PbTe表面氧化形成了PbO和TeO2,接着将样品在超高真空中加温,同时测量样品表面的Pb、Te、O元素价态、束缚能、含量等参量随温度的变化,发现在温度达到475 ℃时PbTe样品表面的氧化层已除去,获得了较干净的PbTe表面,为PbTe光电器件工艺提供了实验依据.
用分子束外延方法在BaF2(111)襯底上生長瞭PbTe單晶薄膜,原子力顯微鏡(AFM)的錶麵形貌錶徵顯示PbTe錶麵具有單原子層的平整性,併觀察到由螺位錯形成的螺鏇檯階麵.高分辨X射線衍射(HRXRD)測量得到PbTe(111)衍射峰的線寬＜100 arc sec,錶明薄膜具有優良的晶體結構特性.然後將樣品暴露于大氣環境中3箇月後,用X射線光電子譜(XPS)分析瞭PbTe錶麵的氧化機理,髮現PbTe錶麵氧化形成瞭PbO和TeO2,接著將樣品在超高真空中加溫,同時測量樣品錶麵的Pb、Te、O元素價態、束縳能、含量等參量隨溫度的變化,髮現在溫度達到475 ℃時PbTe樣品錶麵的氧化層已除去,穫得瞭較榦淨的PbTe錶麵,為PbTe光電器件工藝提供瞭實驗依據.
용분자속외연방법재BaF2(111)츤저상생장료PbTe단정박막,원자력현미경(AFM)적표면형모표정현시PbTe표면구유단원자층적평정성,병관찰도유라위착형성적라선태계면.고분변X사선연사(HRXRD)측량득도PbTe(111)연사봉적선관＜100 arc sec,표명박막구유우량적정체결구특성.연후장양품폭로우대기배경중3개월후,용X사선광전자보(XPS)분석료PbTe표면적양화궤리,발현PbTe표면양화형성료PbO화TeO2,접착장양품재초고진공중가온,동시측량양품표면적Pb、Te、O원소개태、속박능、함량등삼량수온도적변화,발현재온도체도475 ℃시PbTe양품표면적양화층이제거,획득료교간정적PbTe표면,위PbTe광전기건공예제공료실험의거.
